1-4. 触媒基準エッチング法　CARE (CAtalyst-Referred Etching) 2007.05.09更新

触媒基準エッチング法（CARE）は、機械的加工の利点である「基準平面を転写することによる平面度の向上」と、化学的エッチングの利点である「表面のダメージの除去」の両方の利点をもつ新しい加工法です。一般に、ラッピング等の機械研磨においては、ラップ板等の基準面の平坦性が転写されますが、機械加工であるため加工面には加工変質層が形成されてしまいます。（右図）一方、化学的なエッチング等を用いると、加工変質層を形成することなく表面の平滑化が可能ですが、基準面を持たない加工法のため、加工後の平坦性は保障されません。（右下図）CAREは、両者の特長を併せ持つ加工法として、触媒表面上でのみエッチングを起こすという方法で、新しい結晶加工法として期待されています（特許出願中）。

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