プロジェクト (project) |
「原子論的生産技術の創出拠点」 文部科学省21世紀COEプログラム 平成14年度〜平成19年度 |
「触媒支援型化学加工法によるSiC基板の高精度・高能率平坦化」 NEDO 産業技術研究助成事業 平成17年度〜平成19年度 |
「硬X線Sub―10nmビーム形成と顕微鏡システムの構築」 文部科学省 科学研究費補助金 特別推進研究 平成18年度〜平成22年度 |
「ワイドバンドギャップ半導体デバイス製作のための高能率化学的加工法」 文部科学省 科学研究費補助金 若手研究(A) 平成18年度〜平成20年度 |
「高精度X線ミラー作製のためのナノ精度表面形状転写法の開発」 文部科学省 科学研究費補助金 若手研究(B) 平成18年度〜平成19年度 |
「ラージスケールナノ精度加工・計測・転写プロセスの構築」 科学技術振興機構/さきがけ「ナノ製造技術の探索と展開」領域 平成18年度〜平成21年度 |
「K・Bミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発」 科学技術振興機構「 X線自由電子レーザー利用推進研究」 平成18年度〜平成20年度 |
「細胞イメージングのための30nmの分解能を持つ硬X線照射型可視共焦点顕微鏡の開発」 文部科学省 科学研究費補助金 若手研究(B) 平成19年度〜平成20年度 |
「数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化による超精密加工」 文部科学省 科学研究費補助金(萌芽研究) 平成19年度〜平成21年度 |
終了したプロジェクト |
「超高精度X線ミラー作製による高分解能硬X線顕微鏡の開発」 文部科学省 科学研究費補助金 基盤研究(S) 平成15年度〜平成19年度 |
「極端紫外線(EUV)露光システム開発プロジェクト」 NEDO 産業技術研究開発関連事業 平成14年度〜平成19年度 |
「高効率UV発光素子用半導体開発プロジェクト」 NEDO 産業技術研究開発関連事業(委託事業者との共同研究) 平成16年度〜平成18年度 |
「ナノデバイス用基板としての超薄膜SOIウエハの開発」 文部科学省 科学研究費補助金(萌芽研究) 平成15年度〜平成16年度 |