Domestic Conference

2024年 2023年 2022年 2021年 2020年 2019年 2018年 2017～2003年
  • 大坂泰斗(invited)
    "反射型セルフシードによるXFELパルスの時間コヒーレンスの改善"
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，招待講演 5E，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 山田純平，松山智至，佐野泰久，廣瀬雷太，武田佳彦，香村芳樹，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
    "凹・凸面鏡を用いた結像型X線顕微鏡の開発"
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，6C002，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 井上陽登，松山智至，中村南美，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，井上伊知郎，登野健介，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "X線自由電子レーザー用 sub10nm 集光システムの開発‐新しいビーム径診断法を用いた精密ミラーアライメント‐"
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，7E003，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 森岡祐貴，平野嵩，松村正太郎，佐野泰久，大坂泰斗，松山智至，矢橋牧名，山内和人
    "チャネルカットGe結晶に対する大気圧プラスマを用いた無歪みエッチングの実現可能性の検討”
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，10P003，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "形状可変ミラーを用いたコンパクトなX線ズームコンデンサの開発"
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，11P018，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 中森紘基，岡田浩巳，山内和人，津村尚史
    "X線部分回転体ミラーのためのナノ精度三次元計測装置の開発"
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，11P020，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 萩原拓，山田純平，松山智至，佐野泰久，矢橋牧名，表和彦，石川哲也，山内和人
    "X線波面計測法を用いた結像ミラーの評価"
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，11P022，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 平野嵩，森岡祐貴，松村正太郎，佐野泰久，大坂泰斗，井上伊知郎，松山智至，山内和人，矢橋牧名
    "XFELの反射型セルフシード用マイクロチャネルカット結晶の大気圧プラズマによる無歪み内壁加工”
    第32回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，11P031，(2019 1/9-11，福岡，福岡国際会議場)

  • 大坂泰斗
    “反射型セルフシードによるXFELの狭帯域化”
    第25回FELとHigh-power Radiation研究会（2019 2/14-15，兵庫，SACLA実験研究等）

  • 萩原　拓，山田純平，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “X線波面計測法を用いた結像ミラーの評価―タイコグラフィを用いたシングルグレーチング干渉計のクロスチェック―”
    2019年度精密工学会春季大会学術講演会, K36 (2019 3/13-3/15, 東京, 東京電機大学東京千住キャンパス)

  • 井上陽登，松山智至，中村南美，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，井上伊知郎，登野健介，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発（第三報）－スペックルを利用した，ミラーアライメント手法の開発－”
    2019年度精密工学会春季大会学術講演会, K37 (2019 3/13-3/15, 東京, 東京電機大学東京千住キャンパス)

  • 中村南美，松山智至，井上陽登，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，井上伊知郎，登野健介 ，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発　-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の検討-”
    2019年度精密工学会春季大会学術講演会, K38 (2019 3/13-3/15, 東京, 東京電機大学東京千住キャンパス)

  • 松村正太郎，森岡祐貴，平野嵩，佐野泰久，大坂泰斗，松山智至，矢橋牧名，山内和人
    “X線モノクロメータ用Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチング条件の検討”
    2019年度精密工学会春季大会学術講演会, K39 (2019 3/13-3/15, 東京, 東京電機大学東京千住キャンパス)

  • 松村正太郎，平野嵩，森岡祐貴，佐野泰久，大坂泰斗，松山智至，矢橋牧名，山内和人
    “X線自由電子レーザーの反射型セルフシード用マイクロチャネルカット結晶の大気圧プラズマによる内壁無歪み化”
    2019年度関西地方定期学術講演会，P-14（2019 6/28，大阪，大阪大学吹田キャンパス）

  • 中西悠真，向井莉紗，松山智至，山内和人，佐野泰久
    “SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマによるSiCウエハの金属マスクを用いたダイシング加工”
    2019年度関西地方定期学術講演会，29-G（2019 6/28，大阪，大阪大学吹田キャンパス）

  • 中村南美，松山智至，井上陽登，井上伊知郎，大坂泰斗，山田純平，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発　-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の検討-”
    2019年度関西地方定期学術講演会, 41-J (2019 6/28, 大阪, 大阪大学吹田キャンパス)

  • 大西諒典，木田英香，藤大雪，松山智至，佐野泰久，山内和人
    “触媒表面電位制御を取り入れた光電気化学触媒表面基準エッチング法によるSiC 基板の高能率平坦化加工”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル A44, ポスター P 13 (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 松山智至，山田純平，井上陽登，表和彦，廣瀬雷太，武田佳彦，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “多層膜結像ミラーを用いた高分解能 X 線顕微鏡の開発（第二報）”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル J02, (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 山口浩之，松山智至，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “凹・凸面形状可変ミラーを組み合わせたX線ズームコンデンサの開発”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル J14, ポスター P 80 (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 井上陽登，松山智至，山田純平，中村南美，大坂泰斗，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “WolterⅢ型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10 nm集光システムの開発”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル J15, (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 中村南美，松山智至，井上陽登，井上伊知郎，大坂泰斗，山田純平，湯本博勝，小山貴久，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    “X 線自由電子レーザーナノ集光システムの開発 （第2報）-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径計測手法の実証-”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル J16, ポスター P 55 (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 中西悠真，向井莉紗，松山智至，山内和人，佐野泰久
    “サブ大気圧プラズマを用いたSiCの高速裏面薄化における表面粗さの検討”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル O08, ポスター P 53 (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 西田拳，岡山晨哉，松山智至，山内和人，佐野泰久
    “サブ大気圧プラズマを用いた高能率数値制御加工のためのガス交換式多電極型プラズマ発生装置の開発”
    2019年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル O17, ポスター P 57 (2019 9/4-6, 静岡，静岡大学浜松キャンパス)

  • 松山智至(invited)
    "AKBミラーこの10年―これから何をしなくてはならないか？―"
    X線ナノ集光技術研究会 10周年記念研究会(2019年10月27日，東北大学片平キャンパス）

  • 中西悠真，向井莉紗，松山智至，山内和人，佐野泰久
    “高圧力プラズマを用いたSiCウエハの高速裏面エッチングにおけるエッチピット形成に関する検討”
    応用物理学会　先進パワー半導体分科会　第6回講演会, ポスター IA-6 (2019/12/3-4，広島，広島国際会議場)