国内学会発表_大阪大学　佐野研究室

Domestic Conference

2024年

2023年

2022年

山田純平(依頼講演)
"SACLAにおけるX線光学技術の最前線と今後の展望”
第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，企画講演2（2023 1/7-9，滋賀，立命館大学びわこ・くさつキャンパス）
松村正太郎，小笠原伊織，大坂泰斗，井上伊知郎，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
"高圧プラズマエッチングによるマイクロチャネルカット結晶内壁の無歪み化”
第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，9P015S（2023 1/7-9，滋賀，立命館大学びわこ・くさつキャンパス）
田中優人，井上陽登，中林荘太，上松航太，伊藤颯希，山田純平，香村芳樹，矢橋牧名，山内和人，松山智至
"高空間分解能な結像型X線顕微鏡のためのX線ミラー補償光学系"
第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 9P031S（2023 1/7-9 滋賀，立命館大学びわこ・くさつキャンパス）
伊藤篤輝，山田純平，塩井康太，佐野泰久，松山智至，井上陽登，大坂泰斗，井上伊知郎，山口豪太，矢橋牧名，山内和人
"ランダム微粒子からのスペックルパターンを用いたsub-10 nm集光XFELの直接的なビーム径評価"
第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 9P016S（2023 1/7-9 滋賀，立命館大学びわこ・くさつキャンパス）
薬師川惇，山田純平，田中優人，高野秀和，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
”結像型X線顕微鏡における波動伝搬ベース位相イメージング法のCTへの展開”
第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 8P048S（2023 1/7-9 滋賀，立命館大学びわこ・くさつキャンパス）
塩井康太，山田純平，伊藤篤輝，田中優人，松山智志，井上陽登，大坂泰斗，井上伊知郎，犬伏雄一，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
"タイコグラフィを用いたXFEL sub-10 nm 集光光学系のビーム径計測"
第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 3C04S（2023 1/7-9 滋賀，立命館大学びわこ・くさつキャンパス）
山田純平(招待講演)
"硬X線FELの高安定・高強度sub-10nm集光"
レーザー学会学術講演会第43回年次大会,C07-20p-V-01（2023 1/18-20 愛知，ウインクあいち）
井殿舜登，大島政明，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
"SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマによるSiCウエハの金属マスクを用いたダイシング加工"
2023年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，p-17（2023 6/23，京都，リーガロイヤルホテル京都）
塩井康太，山田純平，伊藤篤輝，田中優人，山内和人，大坂泰斗，井上伊知郎，山口豪太，犬伏雄一，矢橋牧名
"タイコグラフィを用いた XFEL sub-10 nm 集光光学系のビーム径計測"
2023年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，p-20（2023 6/23，京都，リーガロイヤルホテル京都）
薬師川惇，山田純平，田中優人，佐野泰久，高野秀和，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
"AKBミラーに基づく結像型X線顕微鏡における波動伝搬ベース位相イメージング法のナノCT・X線分光への展開"
2023年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，p-30（2023 6/23，京都，リーガロイヤルホテル京都）
山﨑博人，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"触媒表面基準エッチング法を用いた金属配線付き基板の高精度平坦化－配線金属のエッチング特性評価－"
2023年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，p-31（2023 6/23，京都，リーガロイヤルホテル京都）
吉田祐介，二村浩平，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーなYAGセラミクス表面の創生"
2023年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，p-11（2023 6/23，京都，リーガロイヤルホテル京都）
藤大雪，萱尾澄人，山内和人，佐野泰久
"触媒表面基準エッチング法を用いたダメージレスかつ原子レベルに平滑なSi(100)表面の作製"
2023年度砥粒加工学会学術講演会，B28（2023 8/28-30，鳥取，よなごコンベンションセンター BIGSHIP）
萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"光電気化学反応を利用した環境調和性に優れた高能率GaN表面研磨技術の開発"
2023年度砥粒加工学会学術講演会，D11（2023 8/28-30，鳥取，よなごコンベンションセンター BIGSHIP）
井殿舜登，大島政明，山田純平，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"サブ大気圧SF6プラズマによるSiCウエハのダイシング加工?RF電力の加工速度への影響?"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，D35（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
中上元太，名畑元喜，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
"H₂/O₂/Heを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウムの高能率エッチング"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，F03（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
小笠原伊織，松村正太郎，大坂泰斗，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
"ワイヤ電極を用いた大気圧プラズマによるチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み化"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，G44（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
松村正太郎，小笠原伊織，三宅雅史，大坂泰斗，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
"高圧プラズマエッチングによるマイクロチャネルカット結晶の内壁無歪み加工"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，G45（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
薬師川惇，山田純平，田中優人，佐野泰久，高野秀和，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
"結像型X線顕微鏡における波動伝搬ベース位相イメージング法の展開"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，G49（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
塩井康太，山田純平，伊藤篤輝，田中優人，大坂泰斗，井上伊知郎，山口豪太，犬伏雄一，矢橋牧名，山内和人
"タイコグラフィによるショットごとのXFEL sub-10nm集光のビーム径計測"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，G51（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
吉田祐介，萱尾澄人，二村浩平，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"触媒表面基準エッチング法における触媒膜剥離防止の検討"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，H88（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
藤大雪，板垣果歩，山﨑博人，萱尾澄人，山内和人，佐野泰久
"触媒表面基準エッチング法を用いたSi基板の原子オーダー平滑化およびエッチング機構の解明"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，H89（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
山﨑博人，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"触媒表面基準エッチング法を用いたRuのエッチング特性"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，H90（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"窒化ガリウム基板の高能率研磨を実現する光電気化学酸化反応の特性の調査"
2023年度精密工学会秋季大会学術講演会，H98（2023 9/13-15，福岡，福岡工業大学）
井殿舜登，大島政明，山内和人，佐野泰久
"SF₆プラズマを用いたSiCウエハのダイシング加工における加工速度向上の検討"
先進パワー半導体分科会第10回講演会，ポスター，IA-2（2023 11/30-12/1，石川，ANAクラウンプラザホテル金沢）
中上元太，名畑元喜，山田純平，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"水素ガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウムの高能率エッチング"
先進パワー半導体分科会第10回講演会，ポスター，IA-3（2023 11/30-12/1，石川，ANAクラウンプラザホテル金沢）
萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，山内和人，佐野泰久
"紫外光照射による光電気化学反応を利用した高能率窒化ガリウム基板研磨法の開発"
先進パワー半導体分科会第10回講演会，ポスター，IB-1（2023 11/30-12/1，石川，ANAクラウンプラザホテル金沢）