Domestic Conference

2025年 2024年 2023年 2022年 2021年 2020年 2019年 2018〜2003年
  • 山田純平(招待講演)
    "硬X線結像ミラー光学系の開発とナノイメージング･ナノ集光への応用"
    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，奨励賞受賞講演 (2024 1/10-12，兵庫，アクリエひめじ)

  • 松村正太郎，小笠原伊織，大坂泰斗，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "狭ギャップチャネルカットX線結晶分光器の大気圧プラズマによる無歪みエッチング加工"
    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，オーラル，12D1-3S (2024 1/10-12，兵庫，アクリエひめじ)

  • 伊藤篤輝，山田純平，塩井康太，井上伊知郎，大坂泰斗，山口豪太，犬伏雄一，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    "複数のX線ナノ集光評価手法を相補的に用いたXFEL 7 nmスポットの高精度計測"
    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，オーラル，11C2-1S (2024 1/10-12，兵庫，アクリエひめじ)

  • 小笠原伊織，松村正太郎，大坂泰斗，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "ワイヤ電極を用いたGeチャネルカット結晶の大気圧プラズマによる内壁無歪み化"
    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，ポスター，12P-12S (2024 1/10-12，兵庫，アクリエひめじ)

  • 塩井康太，山田純平，伊藤篤輝，井上伊知郎，大坂泰斗，山口豪太，犬伏雄一，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    "特異値分解を用いたタイコグラフィ法によるsub-10 nm集光XFELのPulse-to-pulse計測"
    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，ポスター，12P-35S (2024 1/10-12，兵庫，アクリエひめじ)

  • 薬師川惇，山田純平，宇留賀朋哉，高野秀和，松井公佑，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    "Advanced KBミラー結像型X線顕微鏡による吸収分光・位相イメージング法の開発"
    第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，ポスター，11P-81S (2024 1/10-12，兵庫，アクリエひめじ)

  • 萱尾澄人，深川達也，藤大雪，山内和人，佐野泰久
    "光電気化学酸化反応を用いた不純物濃度分布を有するGaN(0001)基板の高能率平滑化加工"
    2024年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，G11 (2024 3/12-14，東京，東京大学本郷キャンパス)

  • 吉田祐介，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，佐野泰久
    "触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーなYAGセラミクス表面の創生"
    2024年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，G58 (2024 3/12-14，東京，東京大学本郷キャンパス)

  • 薬師川惇，山田純平，永松篤弥，高野秀和，宇留賀朋哉，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    " Advanced KBミラー結像型X線顕微鏡による吸収分光および位相イメージング法の開発"
    2024年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，D98 (2024 3/12-14，東京，東京大学本郷キャンパス)

  • 永松篤弥，山田純平，薬師川惇，竹内晃久，上杉健太郎，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラーを用いた走査結像型X線顕微鏡の開発"
    2024年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，D101 (2024 3/12-14，東京，東京大学本郷キャンパス)

  • 塩井康太，山田純平，伊藤篤輝，山口豪太，井上伊知郎，大坂泰斗，犬伏雄一，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    "高分解能ホログラフィイメージング実現のための多層膜ミラーの開発"
    2024年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，D104 (2024 3/12-14，東京，東京大学本郷キャンパス)

  • 永松篤弥，山田純平，薬師川惇，竹内晃久，上杉健太郎，藤大雪，矢橋牧名，山内和人，佐野泰久
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラーを用いた走査・結像型X線顕微鏡の開発"
    2024年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，58-J(P-32) (2024 6/21，大阪，立命館いばらきフューチャープラザ)

  • 名畑元喜，中上元太，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "H2/O2/Heを用いた大気圧プラズマによる酸化ガリウム基板の高能率エッチング"
    2024年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，45-G(P-60) (2024 6/21，大阪，立命館いばらきフューチャープラザ)

  • 深川達哉，萱尾澄人，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "GaN基板成長用種基板の再利用を可能にする光電気化学エッチングを用いたGaN表面の高能率処理手法の開発"
    2024年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，37-G(P-30) (2024 6/21，大阪，立命館いばらきフューチャープラザ)

  • 三宅雅史，松村正太郎，小笠原伊織，山田純平，藤大雪，山内和人，佐野泰久
    "大気圧を超える高圧プラズマ発生装置の製作およびシリコン単結晶のエッチング特性調査"
    2024年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，35-G(P-6) (2024 6/21，大阪，立命館いばらきフューチャープラザ)

  • 宮地洋平，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久，井上大誠，中森光則，菅野至
    "触媒表面基準エッチング法を用いたSi表面処理の高速化検討"
    2024年度精密工学会関西地方定期学術講演会，ポスター，30-F(P-8) (2024 6/21，大阪，立命館いばらきフューチャープラザ)

  • 吉田祐介，萱尾澄人，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "高いレーザー損傷耐性を持つYAGセラミクス表面の創生"
    2024年度砥粒加工学会学術講演会，オーラル，B17 (2024 8/26-28，新潟，アオーレ長岡)

  • 萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "光電気化学反応援用型触媒表面基準エッチング法による結晶不均一性を有するGaN(0001)基板の高能率平滑化加工"
    2024年度砥粒加工学会学術講演会，オーラル，D03 (2024 8/26-28，新潟，アオーレ長岡)

  • 名畑元喜，中上元太，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "H2/O2/Heを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウムのエッチングにおける加工速度の高速化"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，D02 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 井殿舜登，松村優賢，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "SiC基板に対するサブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチングの異方性起源の調査"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，D03 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 深川達哉，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，山田純平，佐野泰久
    "光電気化学エッチングを用いたGaN成長用種基板の再利用を可能にする高能率な機械的ダメージ除去手法開発"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，E83 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 三宅雅史，松村正太郎，小笠原伊織，山田純平，藤大雪，山内和人，佐野泰久
    "大気圧以上の高圧プラズマ加工装置の開発と加工特性調査"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，F50 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 宮地洋平，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久，井上大誠，中森光則，菅野至
    "触媒表面基準エッチング法によるSi表面処理の高速化検討−加工速度の加工液pH依存性調査−"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，J97 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 吉田祐介，萱尾澄人，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "触媒表面基準エッチング法を用いたYAGセラミクス表面のレーザー損傷閾値の向上"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，J98 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，佐野泰久，山内和人
    "光電気化学酸化反応を用いた不純物濃度分布を有するGaN(0001)基板の高能率平滑化加工−第2報　前加工に由来する結晶欠陥での加工むらの抑制−"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，J101 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 塩井康太，山田純平，山口豪太，藤大雪，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "ナノ分解能位相イメージングのための超精密X線多層膜ミラーの開発"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会，オーラル，K99 (2024 9/4-6，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 宮地洋平，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久，井上大誠，中森光則，菅野至
    "触媒表面基準エッチング法によるSi表面処理の高速化検討−加工速度の加工液pH依存性調査−"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP25 (2024 9/4，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 吉田祐介，萱尾澄人，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "触媒表面基準エッチング法を用いたYAGセラミクス表面のレーザー損傷閾値の向上"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP26 (2024 9/4，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 名畑元喜，中上元太，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "H2/O2/Heを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウムのエッチングにおける加工速度の高速化"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP29 (2024 9/4，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 三宅雅史，松村正太郎，小笠原伊織，山田純平，藤大雪，山内和人，佐野泰久
    "大気圧以上の高圧プラズマ加工装置の開発と加工特性調査"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP30 (2024 9/4，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 深川達哉，萱尾澄人，藤大雪，山内和人，山田純平，佐野泰久
    "光電気化学エッチングを用いたGaN成長用種基板の再利用を可能にする高能率な機械的ダメージ除去手法開発"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP37 (2024 9/4，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 塩井康太，山田純平，山口豪太，藤大雪，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "ナノ分解能位相イメージングのための超精密X線多層膜ミラーの開発"
    2024年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP70 (2024 9/4，岡山，岡山大学津島キャンパス)

  • 萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "結晶不均一性を持つ GaN(0001)基板の光電気化学反応を援用した高効率平滑化加工"
    先進パワー半導体分科会第11回講演会，ポスター，IA-20 (2024 11/24-26，群馬，Gメッセ群馬)

  • 深川達哉，萱尾澄人，藤大雪，山田順平，山内和人，佐野泰久
    "光電気化学エッチングによる GaN 成長用種基板の高能率な機械的ダメージ除去手法"
    先進パワー半導体分科会第11回講演会，ポスター，IA-21 (2024 11/24-26，群馬，Gメッセ群馬)

  • 名畑元喜，中上元太，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "H2/O2/Heガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウム，酸化ガリウム基板の高能率エッチング"
    先進パワー半導体分科会第11回講演会，ポスター，IA-22 (2024 11/24-26，群馬，Gメッセ群馬)

  • 井殿舜登，松村優賢，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "高圧力プラズマを用いた SiC 基板のプラズマダイシングにおける異方性起源の解明"
    先進パワー半導体分科会第11回講演会，ポスター，IB-3 (2024 11/24-26，群馬，Gメッセ群馬)

  • 萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，山内和人，佐野泰久
    "光電気化学酸化反応を用いた GaN(0001)基板の高能率平滑化加工"
    第1回半導体結晶技術に関する産学連携ワークショップ，ポスター，P-9 (2024 10/31-11/1，大阪，大阪大学豊中キャンパス)