Domestic Conference

2025年 2024年 2023年 2022年 2021年 2020年 2019年 2018〜2003年
  • 塩井康太，山田純平，山口豪太，藤大雪，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "ナノ分解能イメージングのための超精密多層膜ミラーの開発"
    第38回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム，ポスター，11P-88 (2025 1/10-12，茨城，つくば国際会議場)

  • 三宅雅史，松村正太郎，小笠原伊織，大坂泰斗，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "大気圧プラズマを用いたエッチングによるGeチャネルカット結晶の内壁面無歪み化"
    第38回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム，ポスター，11P-20 (2025 1/10-12，茨城，つくば国際会議場)

  • 山田純平，伊藤篤輝，塩井康太，井上伊知郎，大坂泰斗，山口豪太，犬伏雄一，籔内俊毅，藤大雪，佐野泰久，山内和人，矢橋牧名，玉作賢治
    "7 nm集光硬X線FELによる直接三光子吸収の観測"
    第38回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム，オーラル，12D4-03 (2025 1/10-12，茨城，つくば国際会議場)

  • 小田隆司，三宅雅史，松村正太郎，大坂泰斗，井上伊知郎，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "高圧力プラズマエッチングによるセルフシード用マイクロチャネルカット結晶内壁面の高精度化"
    第38回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム，ポスター，12P-33 (2025 1/10-12，茨城，つくば国際会議場)

  • 岩野新大，山田純平，塩井康太，井上伊知郎，大坂泰斗，犬伏雄一，山口豪太，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名
    "二色発振XFELの超高強度ナノ集光へ向けた二波長反射多層膜ミラーの開発"
    第38回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム，ポスター，12P-34 (2025 1/10-12，茨城，つくば国際会議場)

  • 薬師川惇，山田純平，永松篤弥，宇留賀朋哉，高野秀和，松井公佑，藤大雪，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "Advanced KBミラー結像型X線顕微鏡による分光ナノイメージングの展開"
    第38回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム，ポスター，12P-92 (2025 1/10-12，茨城，つくば国際会議場)

  • 萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "光電気化学酸化反応を用いた窒化ガリウム基板の高能率研磨法の開発　〜基板中の酸素不純物濃度分布と欠陥に由来する加工むらの抑制〜"
    2025年第72回応用物理学会春季学術講演会，オーラル，17a-K301-1 (2025 3/14-17，千葉，東京理科大学野田キャンパス)

  • 藤大雪，深川達也，萱尾澄人，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "Naフラックス成長法用GaN種基板の光電気化学酸化を利用した高効率エッチング"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，C85 (2025 3/17-19，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 松村正太郎，三宅雅史，小田隆司，森田健一，佐野泰久
    "ワイヤ電極を用いたプラズマエッチングにおけるSi加工後表面粗さに関する検討"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，F82 (2025 3/17-19，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 名畑元喜，藤大雪，山田純平，佐野泰久（大阪大
    "励起光を用いた全面一括数値制御プラズマ加工に関する基礎検討"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，F83 (2025 3/17-19，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 岩野新大，山田純平，塩井康太，山口豪太，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名
    "XFELナノ集光ミラーのための二波長反射多層膜の開発"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，G45 (2025 3/17-19，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 花田翔，山田純平，松坂俊一郎，中森紘基，藤大雪，佐野泰久，山内和人，金岡政彦
    "AKBミラーを用いたEUV-FELナノ集光光学系の開発"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，G48 (2025 3/17-19，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 武村紀歩，山田純平，薬師川惇，塩井康太，山口豪太，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名
    "高分解能タイコグラフィのためのX線Risleyプリズム光学系の開発"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会，オーラル，G51 (2025 3/17-19，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 岩野新大，山田純平，塩井康太，山口豪太，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名
    "XFELナノ集光ミラーのための二波長反射多層膜の開発"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP12 (2025 3/17，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 武村紀歩，山田純平，薬師川惇，塩井康太，山口豪太，藤大雪，佐野泰久，矢橋牧名
    "高分解能タイコグラフィのためのX線Risleyプリズム光学系の開発"
    2025年度精密工学会春季大会学術講演会学生研究発表会，ポスター，SP21 (2025 3/17，千葉，千葉工業大学津田沼キャンパス)

  • 石川健，名畑元喜，藤大雪，山田純平，佐野泰久
    "水素ガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウム基板の高能率エッチング-加工速度の基板バイアス依存性の調査-"
    2025年度精密工学会関西地方定期学術講演会, ポスター, 42-G (2025/06/25, 大阪, 関西大学 100周年記念会館)

  • 松村優賢
    "SF6ガスを用いた高圧力プラズマによるSiCウエハのプラズマダイシング加工の基礎検討"
    2025年度精密工学会関西地方定期学術講演会, ポスター, P-14 (2025/06/25, 大阪, 関西大学 100周年記念会館)

  • 小田隆司，三宅雅史，松村正太郎，山内和人，山田純平，藤大雪，佐野泰久
    "大気圧を超える高圧力プラズマエッチングにおける加工不均一性と反射X線への影響"
    2025年度精密工学会関西地方定期学術講演会, ポスター, P-71 (2025/06/25, 大阪, 関西大学 100周年記念会館)

  • 深川達哉，萱尾澄人，藤大雪，山田純平，今西正幸，鷲田将吾，宇佐美茂佳，山内和人，森勇介，佐野泰久
    "光電気化学エッチングによるNaフラックス成長法用GaN種基板の表面処理"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, B102 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 石川健，名畑元喜，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "水素ガスを用いた大気圧プラズマによるGaNのプラズマエッチングにおける加工速度の高速化"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, C-10 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 宮地洋平，藤大雪，山田純平，山内和人，佐野泰久
    "触媒表面基準エッチング法によるSi表面処理の高速化検討 ―加工後表面の加工液pH依存性調査―"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, E85 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 萱尾澄人，深川達哉，藤大雪，山田純平，宇佐美茂佳，今西正幸，滝野淳一，岡山芳央，森勇介，佐野泰久
    "酸化物気相成長法で作製した窒化ガリウム基板の光電気化学酸化反応を用いた高平滑化加工"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, E98 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 三宅雅史，小田隆司，松村正太郎，小笠原伊織，大坂泰斗， 山田純平，藤大雪，山内和人，矢橋牧名，佐野泰久
    "大気圧プラズマエッチングによる硬Ｘ線用Geチャネルカット結晶モノクロメータの無歪み仕上げ加工 "
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, G28 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 小田隆司，三宅雅史，松村正太郎，山内和人，佐野泰久，大坂泰斗，井上伊知郎，矢橋牧名
    "大気圧を超える高圧プラズマによるX線結晶光学素子の無歪化"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, G29 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 名畑元喜，中村奏太，藤大雪，山田純平，佐野泰久
    "数値制御加工に向けた励起光を用いたプラズマの時間的・空間的制御に関する基礎検討"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, G33 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 永松篤弥，山田純平，藥師川惇，武村紀歩，竹内晃久，上杉健太郎，藤大雪，山内和人，佐野泰久，矢橋牧名
    "Advanced KBミラーに基づく走査・結像型X線顕微鏡の高度化へ向けた検討"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, オーラル, H84 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 武村紀歩，山田純平，藤大雪，佐野泰久，山口豪太， 尾崎恭介，初井宇記， 矢橋牧名， 高橋幸生
    "Risleyプリズム光学系を用いた高分解能X線タイコグラフィの開発"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会, ポスター, SP21 (2025/09/17-19, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 小田隆司，三宅雅史，松村正太郎，山内和人，佐野泰久，大坂泰斗，井上伊知郎，矢橋牧名
    "大気圧を超える高圧プラズマによるX線結晶光学素子の無歪化"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会, ポスター, SP49 (2025/09/17, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 永松篤弥，山田純平，藥師川惇，武村紀歩，竹内晃久，上杉健太郎，藤大雪，山内和人，佐野泰久，矢橋牧名
    "Advanced KBミラーに基づく走査・結像型X線顕微鏡の高度化へ向けた検討"
    2025年度精密工学会秋季大会学術講演会学生研究発表会, ポスター, SP79 (2025/09/17, 京都, 京都大学 吉田キャンパス)

  • 山田純平
    "SACLA / SPring-8 / SPring-8-II のための硬X線ナノ集光ミラー開発 "
    第75回 超精密加工専門委員会 (2025/09/25, 東京, 東京大学先端科学技術研究センター)