Domestic Conference

  • 山内和人(invited)
    "触媒表面基準エッチングによる酸化,窒化,炭化物単結晶表面の原子スケール平滑化"
    平成26年度 第161委員会 第89回研究会「結晶加工と評価」(2015 1/8, 9,奈良,橿原ロイヤルホテル)

  • 鈴木明大,下村啓,広瀬真,高橋幸生
    "暗視野X線タイコグラフィーの提案"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.50,1D005,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 下村啓,鈴木明大,広瀬真,香村芳樹,石川哲也,高橋幸生
    "プリセッション測定による高分解能マルチスライスX線タイコグラフィー"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.51,1D006,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 大坂泰斗,平野嵩,犬伏雄一,矢橋牧名,佐野泰久,松山智至,登野健介,佐藤尭洋,小川奏,石川哲也,山内和人
    "XFEL用オートコリレータの開発; KBミラー光学系併用時の空間的重複の実現"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.56,2B002,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 平野嵩,大坂泰斗,犬伏雄一,矢橋牧名,佐野泰久,松山智至,登野健介,佐藤尭洋,小川奏,石川哲也,山内和人
    "XFEL用オートコリレータの開発; 幾何・波動光学計算に基づくアライメント手法の検討"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.66,11P024,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 長平良綾香,金章雨,小山貴久,松山智至,西原明彦,湯本博勝,佐野泰久,大橋治彦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "XFEL用集光ミラー用Pt/C多層膜の性能評価"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.67,11P025,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 西原明彦,松山智至,金章雨,長平良綾香,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,片山拓也,富樫格,矢代航,大橋治彦,百生敦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "位相回折格子を用いたX線自由電子レーザーナノビームの集光波面計測"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.67,11P026,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 金章雨,長平良綾香,西原明彦,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "Sub-10 nm集光用X線ミラーのための高精度形状計測装置の開発"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.107,12P015,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "X線ミラー作製のためのビーム偏向制御を用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.107,12P016,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,木村隆志,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "形状可変ミラーによる二段集光光学系の開発"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.108,12P017,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 木野英俊,松山智至,岡田浩巳,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,津村尚史,石川哲也,山内和人
    "1次元Wolterミラー(Monolithic型)を用いた色収差のない結像型X線顕微鏡の開発"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.114,12P044,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 木目歩美,松山智至,山内和人
    "2回反射型結像ミラーのためのX線スローププロファイラの開発"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.115,12P045,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 広瀬真,鈴木明大,下村啓,高橋幸生
    "X線タイコグラフィーによる航空間分解能XAFSイメージングの実現可能性の検討"
    第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.116,12P049,(2015 1/10-12,滋賀,立命館大学BKC)

  • 礒橋藍 (invited),佐野泰久,山内和人
    "純水を加工液とした触媒表面基準エッチング(CARE)法による4H-SiC基板の高精度平坦化加工"
    第139回プラナリゼーションCMP委員会,Proceeding pp.95-101(2015 02/23,東京,金沢工業大学KIT虎ノ門大学院)

  • 山内和人 (invited)
    ”放射光X線ナノ集光技術の現状と将来展望”
    第62回応用物理学会春季学術講演会,12p-A19-3,(2015 3/11-14,神奈川,東海大学湘南キャンパス)

  • 塩澤昂祐,平岡佑太,佐野泰久,土肥俊郎,黒河周平,會田英雄,大山幸希,宮下忠一,住澤春男,山内和人
    ”革新的”plasma fusion CMP装置”の設計・試作(第6報)―基本型装置(A型)の平坦化特性についての詳細な検討―”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,I13,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 大山幸希,土肥俊郎,佐野泰久,黒河周平,會田英雄,金聖祐,塩澤昂祐,西澤秀明,山崎努,宮下忠一
    ”革新的”plasma fusion CMP装置”の設計・試作(第7報)―”plasma fusion CMP装置”(B型)による加工メカニズムの検討―”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,I14,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 礒橋藍,山口航,杉浦崇仁,稲田辰昭,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”電気化学反応を援用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,I15,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 木谷直隆,礒橋藍,Bui Van Pho,杉浦崇仁,稲垣耕司,木崎栄年,佐野泰久,森川良忠,山内和人
    ”第一原理計算による触媒表面基準エッチング法の加工メカニズムに対する解析”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,I16,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 大坂泰斗,平野嵩,犬伏雄一,矢橋牧名,佐野泰久,松山智至,登野健介,佐藤尭洋,小川奏,石川哲也,山内和人
    ”結晶光学素子に基づくX線分割・遅延光学系の開発―集光光学系併用時の空間的重複の実現―”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,R30,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,木村隆志,Khakurel Krishna,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,西野吉則,山内和人
    ”硬X線集光用形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系の開発”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,R31,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 安田周平,松山智至,木野英俊,岡田浩巳,青野真也,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    ”モノリシックな一次元Wolter mirrorを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,R32,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 松山智至,木目歩美,後藤拓実,西原明彦,香村芳樹,石川哲也,坂尾太郎,山内和人
    ”2回反射型X線ミラーのためのX線スローププロファイラの開発”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,R36,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 金章雨,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”X線集光ミラー形状測定のための姿勢補正機構を有する三次元測定機の開発”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,R37,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製(第7報)―静電偏向制御による非球面形状の作製と評価―”
    2015年度精密工学会春季大会学術講演会,R39,(2015 3/17-19,東京,東洋大学白山キャンパス)

  • 木谷直隆,Bui Van Pho,礒橋藍,稲垣耕司,木崎栄年,山内和人,森川良忠
    "第一原理計算によるPt/SiO2界面におけるSiO2の加水分解反応の促進機構の解析"
    日本物理学会第70回年次大会(2015年),講演概要集 pp.2511,21aAE-7,(2015 3/21-24,東京,早稲田大学早稲田キャンパス)

  • 山内和人(invited)
    ”X線顕微鏡開発の最前線”
    日本顕微鏡学会第71回学術講演会(2015/05/13,京都,国立京都国際会館)

  • 稻田辰昭,礒橋藍,山口航,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”光電気化学反応を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化”
    精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会,25-F(2015 06/03,京都,京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”静電偏向制御を用いたイオンビーム加工法による X 線全反射ミラーの作製”
    精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会,31-G(2015 06/03,京都,京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス)

  • 田尻光毅,岡田悠,佐野泰久,松山智至,山内和人
    ”サブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチングによる2インチSiC基板の高能率加工”
    精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会,32-G(2015 06/03,京都,京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス)

  • 安田周平,松山智至,木野英俊,岡田浩巳,青野真也,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    ”モノリシックな一次元 Wolter mirror を用いた結像型X線顕微鏡の開発”
    精密工学会関西支部2015年度関西地方定期学術講演会,48-J(2015 06/03,京都,京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパス)

  • 高橋幸生(invited)
    ”コヒーレントX線回折による次世代の構造可視化研究”
    PF研究会「次世代放射光光源を用いた構造物性研究への期待」,(2015/07/27-28,高エネルギー加速器研究機構,つくば,茨城)

  • 山内和人(invited)
    ”放射光ミラーの原子レベル平坦化技術”
    第8回トライボコーティング・ドライコーティング合同技術研究会(2015/08/07,兵庫,尼崎リサーチインキュベーションセンター)

  • 藤大雪,礒橋藍,稻田辰昭,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”触媒表面基準エッチング法における触媒機能活性化手法の開発”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,H03,ポスターP3-13(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 佐野泰久,塩澤昂祐,土肥俊郎,黒河周平,會田英雄,大山幸希,宮下忠一,山内和人
    ”革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第8報) -基本型装置(A型)によるダイヤモンド加工の基礎検討-”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,H15(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 平野嵩,大坂泰斗,佐野泰久,犬伏雄一,松山智至,登野健介,石川哲也,山内和人,矢橋牧名
    ”硬X線自由電子レーザー用分割・遅延光学系の開発(第3報) -SACLAにおける性能評価-”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,L30,ポスターP3-14(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 西原明彦,松山智至,金章雨,湯本博勝,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,片山拓也,大橋治彦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    ”多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーのナノ集光 -位相回折格子を用いた波面計測法によるビーム評価-”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,L31,ポスターP2-5(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,木村隆志,Khakurel Krishna,佐野泰久,香村芳樹,西野吉則,石川哲也,山内和人
    ”形状可変ミラーを用いた二段Kirkpatrick-Baezミラー集光光学系による硬X線集光ビームの形成 -開口数制御による任意集光ビーム径の実現-”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,L32,ポスターP3-2(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 安田周平,松山智至,木野英俊,岡田浩巳,青野真也,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    ”モノリシックな一次元Wolter mirrorを用いた結像型X線顕微鏡の開発”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,L33,ポスターP2-9(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 武居弘泰,栗生賢,松山智至,山内和人,佐野泰久
    ”数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化特性”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,L44(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 栗生賢,武居弘泰,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法における酸化膜厚制御の精度向上”
    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会,L45,ポスターP3-25(2015 09/04-06,宮城,東北大学川内北キャンパス)

  • 佐野泰久(invited),有馬健太,山内和人
    ”触媒表面基準エッチング法によるSiCおよびGaN基板の平坦化”
    表面技術協会第132回講演大会,09D-依頼講演(4)(2015 09/09-10,長野,信州大学長野(工学)キャンパス)

  • 松山智至
    ”高分解能かつ色収差のない結像型 X 線顕微鏡の開発”
    SPring-8シンポジウム2015,SPRUC 2015 Young Scientist Award 受賞講演(2015 09/13-14,福岡,九州大学伊都キャンパス)

  • 田尻光毅,井上裕貴,佐野泰久,松山智至,山内和人
    ”SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによる SiC 基板の高能率加工”
    第76回応用物理学会秋季学術講演会,16p-4C-2(2015 09/13-16,名古屋,名古屋国際会議場)

  • 松山智至, 安田周平,香村芳樹,岡田浩巳,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    ”色収差のない結像型 X 線顕微鏡の開発と XAFS イメージングへの応用”
    第51回X線分析討論会,O14(2015 10/29-30,兵庫,姫路・西はりま地場産業センター)

  • 礒橋藍,稻田辰昭,佐野泰久,山内和人
    ”電気化学反応による表面酸化現象を利用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発”
    先進パワー半導体分科会第2回講演会,P-37(2015 11/9-10,大阪,大阪国際交流センター)

  • 稻田辰昭,礒橋藍,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    ”光電気化学反応を援用した触媒表面基準エッチング法によるSiC基板の高能率平坦化”
    先進パワー半導体分科会第2回講演会,P-39(2015 11/9-10,大阪,大阪国際交流センター)

  • 田尻光毅,井上裕貴,佐野泰久,松山智至,山内和人
    ”SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC基板の高能率加工”
    先進パワー半導体分科会第2回講演会,P-41(2015 11/9-10,大阪,大阪国際交流センター)

  • 高橋幸生 (依頼講演)
    ”X線タイコグラフィによる生物試料の高分解能観察を目指して”
    分子生物学会ワークショップ,BMB2015,4W21-6(2015 12/1-4,兵庫,神戸国際会議場)

  • 山内和人 (依頼講演)
    "GaN, SiCの触媒エッチング技術“
    第20回結晶工学セミナー 基板の加工と評価が切り拓くSi, SiC, GaN結晶の基盤技術 (2015 12/10,東京,学習院創立百周年記念会館)