Domestic Conference

  • 高橋幸生 (invited)
    ”ナノ分解能・広視野イメージングを実現するコヒーレントX線回折法”
    アモルファス・ナノ材料第141委員会,第131回研究会 (2016 1/8,東京,弘済会館)

  • 高橋幸生 (invited)
    ”X線タイコグラフィによる高分解能・高感度位相イメージング”
    レーザー学会学術講演会第36回年次大会 (2016 1/9,名古屋,名城大学)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,木村隆志,Krishna Prasad Khakurel,佐野泰久,香村芳樹,西野吉則,石川哲也,山内和人
    "形状可変ミラーによる二段 KB ミラー集光光学系を用いた任意サイズ硬 X 線集光ビームの形成"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,2B003 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 平野嵩,大坂泰斗,佐野泰久,犬伏雄一,松山智至,登野健介,石川哲也,山内和人,矢橋牧名
    "XFEL 用分割・遅延光学系の開発—波面分割型ビームスプリッタの検討—"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,3D001 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 大坂泰斗,平野嵩,犬伏雄一,佐野泰久,松山智至,登野健介,石川哲也,山内和人,矢橋牧名
    "XFEL 用分割・遅延光学系の開発—SACLA における性能評価—"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,3D002 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 広瀬真,鈴木明大,下村啓,Nicolas Burdet,高橋幸生
    "孤立物体のコヒーレント X 線回折強度パターンから試料像と入射プローブを同時に再構成する方法の提案"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,4D001 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 下村啓,Nicolas Burdet,鈴木明大,広瀬真,高橋幸生
    "部分コヒーレント X 線を用いたタイコグラフィ"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,4D002 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 鈴木明大,下村啓,広瀬真,Nicolas Burdet,高橋幸生
    "暗視野 X 線タイコグラフィによる弱位相物体の高分解能イメージング"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,4D003 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 安田周平,松山智至,岡田浩巳,青野信也,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "一次元結像ミラーを用いた色収差のない結像型X線顕微鏡の開発"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,7D001 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 川合蕉吾,松山智至,金章雨,西原明彦,湯本博勝,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,片山拓也,大橋治彦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "多層膜集光ミラーを用いたX線自由電子レーザーsub10nm集光の実現"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,10P036 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,山内和人
    "WolterV型に基づいたAdvanced KBミラー結像光学系の理論的検証"
    第29回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,10P098 (2016 1/9-11,千葉,東京大学柏の葉キャンパス)

  • 高橋幸生 (invited)
    "X線タイコグラフィによるナノ構造解析"
    薄膜第131委員会研究会,(2016 2/4,愛知,名古屋大学野依記念館)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "二段アダプティブKBミラー光学系を用いた硬X線平行ビームの形成"
    2016年度精密工学会春季大会学術講演会,Q32,(2016 3/15-17,千葉,東京理科大学野田キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,山内和人
    "小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発-幾何・波動光学シミュレーションを用いた結像特性の考察-"
    2016年度精密工学会春季大会学術講演会,Q33,(2016 3/15-17,千葉,東京理科大学野田キャンパス)

  • 田尻光毅,井上裕貴,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "サブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチングによる2インチSiC基板の高能率加工"
    2016年度精密工学会春季大会学術講演会,Q45,(2016 3/15-17,千葉,東京理科大学野田キャンパス)

  • 稲田辰昭,礒橋藍,佐野泰久,山内和人
    "光電気化学酸化を援用した触媒表面基準エッチング法による炭化ケイ素の高能率平坦化"
    2016年度精密工学会春季大会学術講演会,E73,(2016 3/15-17,千葉,東京理科大学野田キャンパス)

  • 宮崎俊亘,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "プラズマエッチングによる基板の基準面加工法の開発"
    2016年度精密工学会春季大会学術講演会,E74,(2016 3/15-17,千葉,東京理科大学野田キャンパス)

  • 佐野泰久,土肥俊朗,黒河周平,會田英雄,大山幸希,宮下忠一,住澤春男,宮崎俊亘,山内和人
    "革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第10報)-基本型装置(A型)によるダイヤモンドの加工-"
    2016年度精密工学会春季大会学術講演会,E82,(2016 3/15-17,千葉,東京理科大学野田キャンパス)

  • 山内和人(invited)
    "触媒表面基準エッチング法による酸化・窒化・炭化物材料の原子スケール平坦化"
    2016年電気化学会第83回大会,特2Q01,(2016 3/29-30,大阪,大阪大学吹田キャンパス)

  • 藤 大雪,礒橋 藍,稻田辰昭,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "ニッケルを利用した触媒表面基準エッチング法―触媒パッド表面の電気化学的制御―"
    2016年度関西地方定期学術講演会,24-F,(2016 7/12,京都,鞄津製作所三条事業所)

  • 中平雄太,礒橋 藍,Bui Van Pho,稻田辰昭,藤 大雪,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "触媒表面基準エッチング法における水素水を利用した触媒被毒除去法の開発"
    2016年度関西地方定期学術講演会,25-F,(2016 7/12,京都,鞄津製作所三条事業所)

  • 井上裕貴,田尻光毅,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "高濃度SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC基板の高能率加工"
    2016年度関西地方定期学術講演会,30-G,(2016 7/12,京都,鞄津製作所三条事業所)

  • 川合蕉吾,松山智至,湯本博勝(大阪大学),犬伏雄一,小山貴久,登野健介,大橋治彦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "多層膜ミラーを用いた X 線自由電子レーザーのナノビーム形成"
    2016年度関西地方定期学術講演会,41-J,(2016 7/12,京都,鞄津製作所三条事業所)

  • 林 宏樹,後藤拓実,松山智至,佐野泰久,山内和人,中森紘基,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也
    "二段アダプティブ KB ミラー光学系を用いた任意サイズの硬 X 線ビームの形成"
    2016年度関西地方定期学術講演会,42-J,(2016 7/12,京都,鞄津製作所三条事業所)

  • 山内和人(invited)
    "触媒表面基準エッチング法の原理と加工特性"
    2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, N31 (2016 9/6-8, 茨城,茨城大学水戸キャンパス)

  • 安田周平,松山智至,岡田浩巳,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を用いた蛍光X線イメージング"
    2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, E61 (2016 9/6-8, 茨城,茨城大学水戸キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,山内和人
    "小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発(第2報)〜小型X線結像ミラーの作製と評価〜"
    2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, E62 (2016 9/6-8, 茨城,茨城大学水戸キャンパス)

  • 平野嵩,大坂泰斗,佐野泰久,犬伏雄一,松山智至,登野健介,石川哲也,山内和人,矢橋牧名
    "硬X線自由電子レーザー用分割・遅延光学系の開発(第4報)〜SACLAにおける分割パルスの時空間重複の実現〜"
    2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, E63 (2016 9/6-8, 茨城,茨城大学水戸キャンパス)

  • 中平雄太,礒橋藍,Bui Pho Van,稻田辰昭,藤大雪,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "触媒表面基準エッチング法における被毒物除去による加工速度安定化手法の開発"
    2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, D68 (2016 9/6-8, 茨城,茨城大学水戸キャンパス)

  • 宮崎俊亘,両粂玲志,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発〜炭化ケイ素基板の加工〜"
    2016年度精密工学会秋季大会学術講演会, D79 (2016 9/6-8, 茨城,茨城大学水戸キャンパス)

  • 稻田辰昭,礒橋藍,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "触媒表面基準エッチング法によるGaN基板平坦化における加工速度の高速化"
    日本機会学会2016年度年次大会,S1630201 (2016 9/11-14,福岡,九州大学伊都キャンパス)

  • 井上裕貴,田尻光毅,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "高濃度 SF6 ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC 基板の高能率加工"
    2016年第77回応用物理学会秋季学術講演会,15p-C302-3 (2016 9/13-16,新潟,朱鷺メッセ)

  • 高橋幸生 (invited)
    "高分解能コヒーレントX線回折イメージング:ナノ構造のその場観察を目指して"
    日本物理学会2016年秋季大会,シンポジウム:表面界面ナノ構造のその場観察(2016 9/13-16,金沢大学角間キャンパス,石川)

  • 松山智至,安田周平,山田純平,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "全反射結像ミラーを用いた高分解能蛍光X線イメージング"
    第52回X線分析討論会 (2016 10/26-28,筑波大学東京キャンパス,東京)

  • 松山智至 (invited)
    "X線顕微鏡の最前線"
    第1回ナノ材料応用技術セミナー「放射光イメージング技術」(2016 10/28,京都府産業支援センター,京都)

  • 井上裕貴,田尻光毅,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "プラズマ発生領域制限マスクを用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板のダイシング"
    2016年度先進パワー半導体分科会 第3回講演会,P63(2016 11/7-11/9,茨城,つくば国際会議場)

  • 藤大雪,礒橋藍,稻田辰昭,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "ニッケルを利用した触媒表面基準エッチング法-触媒パッド表面の電気化学的制御-"
    2016年度先進パワー半導体分科会 第3回講演会,P67(2016 11/7-11/9,茨城,つくば国際会議場)

  • 稻田辰昭,礒橋藍,木田英香,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "光電気化学反酸化を援用した触媒表面基準エッチング法によるGaN基板の高能率平坦化"
    2016年度先進パワー半導体分科会 第3回講演会,P69(2016 11/7-11/9,茨城,つくば国際会議場)

  • 宮崎俊亘,両粂玲志,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発 −炭化ケイ素基板の加工―"
    2016年度先進パワー半導体分科会 第3回講演会,P71(2016 11/7-11/9,茨城,つくば国際会議場)

  • 田尻光毅,井上裕貴,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC加工の高速化検討"
    2016年度先進パワー半導体分科会 第3回講演会,VII-1奨励賞受賞特別記念講演(2016 11/7-11/9,茨城,つくば国際会議場)

  • 高橋幸生(invited)
    "コヒーレントX線回折イメージングによるナノ材料粒子の組織と粒形分布の複合解析"
    日本化学会コロイドおよび界面化学部会「実用講座 分散凝集のすべて 2016」(2016 12/13, 東京,日本化学会館)