Domestic Conference

  • 高橋幸生
    "ユビキタス・ナノイメージングがもたらす将来のすがた"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,企画講演1-5 (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 山田純平,松山智至,安田周平,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "小型かつ大倍率を実現するX線結像ミラー光学系の開発"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,3F001S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 下村啓,広瀬真,Nicolas Burdet,高橋幸生
    "ランダムアレイを利用したマルチスライスX線タイコグラフィの高分解能化"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,4D003S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 広瀬真,下村啓,Nicolas Burdet,松井公佑,唯美津木,高橋幸生
    "硬X線タイコグラフィによる価数識別イメージング"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,4D004S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 松山智至,安田周平,山田純平,岡田浩巳,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "全反射結像ミラーを使った色収差のないX線顕微鏡の開発と顕微分光への応用"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,5D003 (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 平野嵩,大坂泰斗,佐野泰久,犬伏雄一,松山智至,登野健介,山内和人,矢橋牧名
    "XFEL用分割・遅延光学系の開発―自己相関法を用いた遅延時間ゼロの決定―"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,5F004S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 大坂泰斗,平野嵩,森岡裕貴,佐野泰久,犬伏雄一,富樫格,井上伊知郎,松山智至,登野健介,山内和人,矢橋牧名
    "X線ヘテロダイン干渉法によるXFELパルスの時間プロファイル評価"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,5F005 (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 川合蕉吾,松山智至,井上陽登,湯本博勝,犬伏雄一,小山貴久,登野健介,大橋治彦,後藤俊治,石川哲也,矢橋牧名,山内和人
    "X線自由電子レーザーナノ集光用の大開口数多層膜集光ミラーの開発"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,8P012S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 後藤拓実,松山智至,林宏樹,中森紘基,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    "4枚の形状可変ミラーを用いたアダプティブX線光学系による硬X線コリメート光の形成"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,8P014S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 林宏樹,後藤拓実,中森紘基,松山智至,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "ビームサイズ可変X線集光光学系の開発−形状可変ミラーの形状制御プロセスの改良−"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,9P019S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 安田周平,松山智至,岡田浩巳,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baez結像光学系を用いた蛍光X線イメージング"
    第30回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,9P091S (2017 1/7-9,兵庫,神戸芸術センター)

  • 高橋幸生(依頼講演)
    "コヒーレントX線回折イメージングの今後の可能性"
    PF研究会「PF挿入光源ビームラインBL-19の戦略的利用に関する研究会」(2017 1/17,茨城,KEKつくばキャンパス)

  • 高橋幸生(招待講演)
    "硬X線スペクトロタイコグラフィ"
    SPRUC顕微ナノ材料科学研究会・表面科学会放射光部会合同シンポジウム(2017 3/3,東京,東京理科大学葛飾キャンパス)

  • 山内和人(招待講演)
    "X線ナノ集光のための精密ミラーの作製"
    2017 年度精密工学会春季大会公開シンポジウム (2017 3/14,神奈川,慶應義塾大学矢上キャンパス)

  • 松山智至,安田周平,山田純平,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "全反射ミラーを用いた高分解能かつ色収差のない結像型X線顕微鏡の開発ー様々な観察法への応用ー"
    2017年度精密工学会春季大会学術講演会,P02 (2017 3/13-15, 神奈川,慶応義塾大学矢上キャンパス)

  • 川合焦吾,松山智至,井上陽登,湯本博勝,犬伏雄一,小山貴久,登野健介,大橋治彦,大坂泰斗,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発"
    2017年度精密工学会春季大会学術講演会,P03 (2017 3/13-15, 神奈川,慶応義塾大学矢上キャンパス)

  • 井上裕貴,田尻光毅,向井莉紗,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "高濃度SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマエッチングによるSiC基板の高能率薄化加工"
    2017年度精密工学会春季大会学術講演会,P15 (2017 3/13-15, 神奈川,慶応義塾大学矢上キャンパス)

  • 両粂玲志,宮崎俊亘,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発"
    2017年度精密工学会春季大会学術講演会,P15 (2017 3/13-15, 神奈川,慶応義塾大学矢上キャンパス)

  • 高橋幸生(招待講演)
    "マルチスライスX線タイコグラフィ:埋もれた界面のナノイメージングに向けて"
    第64回応用物理学会春季学術講演会 (2017 3/16,神奈川,パシフィコ横浜)

  • 高橋幸生(依頼講演)
    "X線タイコグラフィによる価数識別ナノイメージング"
    日本物理学会第72回年次大会 (2017 3/18,大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 木田英香,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "光電気化学反応を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化"
    精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会,31-F (2017 6/29,大阪, 摂南大学寝屋川キャンパス)

  • 向井莉紗,井上裕貴,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "SF6ガスを用いたサブ大気圧プラズマによる4インチSiC基板の高能率裏面薄化加工"
    精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会,33-G (2017 6/29,大阪, 摂南大学寝屋川キャンパス)

  • 岡山晨哉,西田拳,松山智至,山内和人,佐野泰久
    "高能率数値制御加工のための多電極プラズマ発生装置の開発 ―電極間距離の最適値の検討―"
    精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会,38-G (2017 6/29,大阪, 摂南大学寝屋川キャンパス)

  • 森岡祐貴,平野嵩,大坂泰斗,佐野泰久,片山哲夫,矢橋牧名,山内和人
    "大気圧プラズマを用いた狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み内壁エッチング法に関する検討"
    精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会,39-G (2017 6/29,大阪, 摂南大学寝屋川キャンパス)

  • 井上陽登,松山智至,川合蕉吾,湯本博勝,犬伏雄一,小山貴久,登野健介,大橋治彦,大坂泰斗,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "XFEL 用集光光学系のための精密波面計測法の開発"
    精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会,51-J (2017 6/29,大阪, 摂南大学寝屋川キャンパス)

  • 波多健太郎,山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線顕微鏡の実現可能性の検討"
    精密工学会関西支部 2017年度関西地方定期学術講演会,52-J (2017 6/29,大阪, 摂南大学寝屋川キャンパス)

  • 中平雄太,礒橋藍,Bui Pho,稲田辰昭,藤大雪,木田英香,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "触媒表面基準エッチング法における水素水を用いた被毒除去法の提案"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,A01, P-114 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 波多健太郎, 山田純平, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    "多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線結像光学系の開発"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M01, P-80 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,波多健太郎,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発(第3報)-凹・凸面鏡を用いた新規光学系の実証と一体型素子化の検討-"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M02, P-87 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 後藤拓実,松山智至,林宏樹,園山純生,秋山和輝,中森紘基,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線集光用システムの開発"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M04, P-7 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 井上陽登,松山智至,川合蕉吾,湯本博勝,犬伏雄一,小山貴久,登野健介,大橋治彦,大坂泰斗,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発-波面計測法とビームキャラクタリゼーション法の検討-"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M13, P-63 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 平野嵩,大坂泰斗,森岡裕貴,佐野泰久,犬伏雄一,富樫格,井上伊知郎,登野健介,松山智至,山内和人,矢橋牧名
    "硬X線自由電子レーザー用分割・遅延光学系の開発(第5報)〜SACLAにおけるX線干渉法によるX線パルスの時間特性評価〜"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M14, P-76 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 大坂泰斗,井上伊知郎,金城良太,平野嵩,森岡裕貴,佐野泰久,矢橋牧名
    "X線自由電子レーザーのセルフシードに向けたμ-チャネルカット反射型X線モノクロメータの基礎検討"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M15 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 木田英香,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "光電気化学酸化を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,A15, P-75 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 両粂玲志,大西諒典,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "表面吸着活性種の輸送を用いたドライ平坦化法の開発-単結晶ダイヤモンドの加工-"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,A18, P-23 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 藤大雪,礒橋藍,稲田辰昭,中平雄太,木田英香,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,A25, P-90 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 森岡祐貴,平野嵩,大坂泰斗,佐野泰久,松山智至,片山哲夫,矢橋牧名,山内和人
    "大気圧プラズマを用いた狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪みエッチング法に関する研究"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M23, P-94 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 向井莉紗,井上裕貴,松山智至,山内和人,佐野泰久
    "サブ大気圧プラズマを用いたSiC基板の高能率裏面薄化における加工速度の面内均一性"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M24, P-43 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 井上裕貴,向井莉紗,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "プラズマ発生領域制限マスクを用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の切断加工"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M25, P-84 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 岡山晨哉,西田拳,松山智至,山内和人,佐野泰久
    "高能率数値制御加工のための多電極型プラズマ発生装置の開発-19個の固定電極を有する基礎実験装置の試作と数値制御加工の実証-"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M26, P-38 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • Bui Pho Van, 藤大雪,稲垣耕司,佐野泰久,山内和人,森川良忠
    "Platinum-assisted chemical etching of SiC: A density functional theory study"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,D34 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 中森紘基,岡田浩巳,山内和人,津村尚史
    "部分回転楕円X線ミラーのためのナノ精度三次元形状計測装置の開発"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M38 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 林宏樹,後藤拓実,山口浩之,中森紘基,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "バイモルフ型形状可変ミラーのための低ドリフト制御プロセスの開発"
    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会,M39, P-32 (2017 9/20-22, 大阪,大阪大学豊中キャンパス)

  • 藤大雪,中平雄太,木田英香,大櫛貴久,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発"
    2017年度先進パワー半導体分科会 第4回講演会,IA-9(2017 11/1-2,愛知,名古屋国際会議場)

  • Pho Van Bui,籐大雪,稲垣耕司, 佐野泰久, 山内和人, 森川良忠
    "第一原理計算による触媒表面基準エッチング法の SiC の加工メカニズムの解明"
    2017年度先進パワー半導体分科会 第4回講演会,IA-13(2017 11/1-2,愛知,名古屋国際会議場)

  • 木田英香,稻田辰昭,礒橋藍,藤大雪,中平雄太,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "光電気化学反応を援用した触媒表面基準エッチング法による SiC 基板の高能率平坦化加工"
    2017年度先進パワー半導体分科会 第4回講演会,IB-8(2017 11/1-2,愛知,名古屋国際会議場)

  • 井上 裕貴,向井 莉紗,松山 智至,山内 和人,佐野 泰久
    "プラズマ発生領域制限マスクを用いた PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining)に よる 2 インチ SiC 基板の切断加工"
    2017年度先進パワー半導体分科会 第4回講演会,IB-9(2017 11/1-2,愛知,名古屋国際会議場)

  • 向井 莉紗, 井上 裕貴, 松山 智至, 山内 和人, 佐野 泰久
    "サブ大気圧プラズマを用いた 4 インチ SiC 基板の高能率裏面薄化加工"
    2017年度先進パワー半導体分科会 第4回講演会,IIA-12(2017 11/1-2,愛知,名古屋国際会議場)