Domestic Conference

2024年 2023年 2022年 2021年 2020年 2019年 2018年 2017〜2003年
  • 後藤拓実．松山智至，林宏樹，山口浩之，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "圧電駆動型ミラーと機械曲げ機構を組み合わせたアダプティブ集光システムによるX線集光ビームの形成"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，1C005，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 林宏樹，後藤拓実，松山智至，山口浩之，中森紘基，佐野泰久，山内和人
    "圧電単結晶を用いた形状可変ミラーの開発"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，9P027，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 山口浩之，後藤拓実，松山智至，林宏樹，園山純生，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "機械曲げ機構と圧電バイモルフミラーによるハイブリッド型形状可変ミラー開発"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，9P028，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 山田純平，松山智至，波多健太郎，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "小型かつ大倍率が実現可能なX線結像ミラーの開発"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，9P029，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 中森紘基，岡田浩巳，津村尚史，山内和人
    "X線回転体ミラー用ナノ精度三次元計測装置の開発"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，9P030，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 大坂泰斗，井上伊知郎，金城良太，平野嵩，森岡裕貴，佐野泰久，犬伏雄一，登野健介，原徹，稲垣隆宏，後藤俊治，大橋治彦，矢橋牧名
    "SACLAにおける反射型セルフシードの検討 –実証実験に向けた進捗報告–"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，4C004，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 川合蕉吾，松山智至，井上陽登，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "大開口数多層膜集光ミラーを用いた sub-10nm 集光システムの開発"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，5C002，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 井上陽登，松山智至，川合蕉吾，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "X線自由電子レーザー用 sub10nm 集光システムの開発波面計測法とビームキャラクタリゼーション法の検討"
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，10P001，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 森岡祐貴，平野嵩，佐野泰久，松山智至，大坂泰斗，片山哲夫，矢橋牧名，山内和人
    "チャネルカット結晶X線モノクロメータのための大気圧プラスまによる狭ギャップ内壁面の無歪みエッチング法の開発”
    第31回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，10P030，(2018 1/8-10，茨城，つくば国際会議場)

  • 松山智至(invited)
    "超精密X線ミラーが拓く次世代X線集光・結像"
    レーザー学会学術講演会 第38回年次大会 (2018 1/24-26，京都，京都市勧業館みやこめっせ)

  • 山内和人(invited)
    "触媒表面基準エッチング法とEEM法の応用"
    第40回グラインディング・アカデミー 砥粒加工学会 (2018 1/26，京都，キャンパスプラザ京都)

  • 井上陽登, 松山智至, 川合蕉吾, 湯本博勝, 犬伏雄一, 小山貴久, 登野健介, 大橋治彦, 大坂泰斗, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    "多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発　スペックルを利用したビームキャラクタリゼーション法の検討"
    2018年度精密工学会春季大会学術講演会, I67 (2018 3/15-3/17, 東京, 中央大学後楽園キャンパス)

  • 波多健太郎，山田純平，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "多層膜結像ミラー光学系による高空間分解能なX線顕微鏡の開発”
    2018年度精密工学会春季大会学術講演会, I68 (2018 3/15-3/17, 東京, 中央大学後楽園キャンパス)

  • 山口浩之，林宏樹，後藤拓実，松山智至，園山純基，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線アダプティブ集光システムによる2次元集光ビームの形成"
    2018年度精密工学会春季大会学術講演会, I69ｓ (2018 3/15-3/17, 東京, 中央大学後楽園キャンパス)

  • 佐野泰久(invited)
    "高圧力プラズマを用いたSiC 基板の高能率無歪加工"
    (公社)砥粒加工学会 北陸信越地区部会 先端加工フォーラム2018 (2018 5/11, 金沢, 金沢工業大学)

  • 西田拳，岡山晨哉，松山智至，山内和人，佐野泰久
    "サブ大気圧プラズマを用いた高能率数値制御プラズマエッチングのための多電極型プラズマ発生装置の開発"
    2018年度関西地方定期学術講演会, P-18 (2018 6/29, 大阪, 大阪電気通信大学)

  • 山口浩之，林宏樹，後藤拓実，松山智至，園山純基，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "機械曲げ機構と圧電バイモルフミラーを組み合わせたハイブリッド型X線アダプティブ集光システムの開発"
    2018年度関西地方定期学術講演会, P-37 (2018 6/29, 大阪, 大阪電気通信大学)

  • 大櫛貴久，藤大雪，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "触媒表面基準エッチング法におけるAFM利用による触媒表面の液中その場観察"
    2018年度関西地方定期学術講演会, P-42 (2018 6/29, 大阪, 大阪電気通信大学)

  • 中村南美，松山智至，井上陽登，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，井上伊知郎，登野健介，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発"
    2018年度関西地方定期学術講演会, 44-J (2018 6/29, 大阪, 大阪電気通信大学)

  • 岡山晨哉，西田拳，松山智至，山内和人，佐野泰久
    "サブ大気圧プラズマを用いた高能率数値制御加工のための多電極型プラズマ発生装置の開発"
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，1P(B)76 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 森岡祐貴，平野嵩，松村正太郎，大坂泰斗，佐野泰久，矢橋牧名，山内和人
    "X線モノクロメータ用 Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングの加工特性評価”
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，3A(T)81 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 平野嵩，森岡祐貴，松村正太郎，佐野泰久，大坂泰斗，松山智至，矢橋牧名，山内和人
    " X線自由電子レーザーの反射型セルフシーディングに用いる極狭チャネルカット結晶モノクロメータの無歪み内壁加工法に関する検討”
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，3A(T)82 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 山口浩之，林宏樹，後藤拓実，松山智至，園山純基，秋山和輝，中森紘基，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "硬X線集光用形状可変ミラーを用いたアダプティブ集光光学系の開発"
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，3A(T)83 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 井上陽登，松山智至，中村南美，湯本博勝，犬伏雄一，小山貴久，大坂泰斗，井上伊知郎，登野健介，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発（第二報）"
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，3A(T)84 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 中森紘基，岡田浩巳，山内和人，津村尚史
    "部分回転楕円X線ミラーのためのナノ精度三次元形状計測装置の開発"
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，3A(B)82 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 山田純平，松山智至，波多健太郎，萩原拓，佐野泰久，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "小型かつ色収差の無い高分解能結像型X線顕微鏡の開発"
    2018年度精密工学会秋季大会学術講演会，3A(B)84 (2018 9/5-7, 北海道，函館アリーナ)

  • 佐野泰久(invited), 有馬健太, 山内和人
    "触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウム基板の無歪平坦化"
    2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会, 18p-146-4 (2018 9/18-21, 愛知, 名古屋国際会議場)

  • 桑原 麻優、佐野 良介、荒井 仁、佐野 泰久、野平 博司
    "AR-XPSによる4H-SiC(0001) on-Axis, 4°Off-Axis基板の初期酸化過程の解明２"
    2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会, 21p-PB6-1 (2018 9/18-21, 愛知, 名古屋国際会議場)

  • 南 映希、伊藤 亮太、佐野 泰久、川合 健太郎、山村 和也、有馬 健太
    "プラズマ酸化を援用した低ピット密度グラフェン形成の起源"
    2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会, 18p-PB3-62 (2018 9/18-21, 愛知, 名古屋国際会議場)

  • 向井莉紗, 井上裕貴, 中西悠真, 松山智至, 山内和人, 佐野泰久
    "メタルマスクを用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板のダイシング加工"
    応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第5回講演会, IA-13 (2018/11/6-7, 京都, 京都テルサ)