Domestic Conference

2021年 2020年 2019年 2018年 2017年 2016年 2015年 2014〜2003年年
  • 森 勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 遠藤勝義, 有馬健太,　稲垣耕司
    EEM(Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の修正
    精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 29-30 (2003).

  • 柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第2報―
    2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 330-330 (2003).

  • 森　勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 稲垣耕司, 有馬健太, 遠藤勝義
    EEM(Elastic Emission Machining)による表面広空間波長帯域の形状/粗さ修正
    2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 334-334 (2003).

  • 森　勇藏, 佐野泰久, 山村和也
    数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの超薄膜化
    第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 766-766 (2003).

  • 柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第3 報―
    2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1101-1102 (2004).

  • 松山智至, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 湯本博勝, 遠藤勝義, 玉作賢治, 矢橋牧名, 西野吉則, 石川哲也, 森　勇藏
    走査型Ｘ線顕微鏡のための楕円体ミラーを用いた二次元集光ユニットの開発
    第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 747-747 (2004)

  • 掛谷悟史，稲垣耕司，山村和也，佐野泰久，広瀬喜久治，遠藤勝義
    第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索
    日本物理学会講演概要集，59-1，899-899, (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
    硬X線ナノ集光のための高精度楕円体ミラーの作製と集光特性の評価
    第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 602 (2004).

  • 松山智至，山内和人，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
    ミラー集光系を用いたX線顕微鏡(ナノスコピー)の開発
    第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 605 (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
    高精度Ｘ線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
    精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 95-96 (2004).

  • 一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人，八木圭太，半田宗一郎
    超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する触媒電極の開発―
    精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 17-18 (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
    干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測 ―高精度スティッチング法の開発―
    2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 185-186 (2004).

  • 加藤　潤, 久保田章亀, 有馬健太, 山村和也, 山内和人, 遠藤勝義, 森　勇藏
    STM によるSi(011),(111)ウエハ超精密加工表面の原子構造観察
    2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 617-618 (2004).

  • 久保田章亀, 三村秀和, 稲垣耕司, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人, 森　勇藏
    EEM (Elastic Emission Machining)によるSiC 表面の平坦化
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1265-1266 (2005).

  • 柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 佐野泰久, 杉山　剛
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工（第5報）
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1267-1268 (2005).

  • 三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 原　英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1271-1272 (2005).

  • 松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線CT顕微鏡の開発
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　106 (2005).

  • 三村秀和，松山智至，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    高精度非球面全反射ミラーによる硬X線の回折限界集光
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　143 (2005).

  • 湯本博勝，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    干渉計を用いた高精度表面形状計測法の開発と硬X線集光ミラーへの適応
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集 209 (2005).

  • 原　英之、佐野泰久、三村秀和、山内和人
    触媒を援用した化学ポリッシング法によるSiCの加工
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 337-338, (2005).

  • 湯本博勝、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏、石川哲也、山内和人
    硬X線ナノ集光ミラーの形状計測‐高精度スティッチング法の開発‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 453-454, (2005).

  • 山本雄介、柴原正文、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第6報)‐パイプ電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 525-526, (2005).

  • 柴原正文、山本雄介、滝　賢介、山村和也、佐野泰久、田中良明、結城広昭、村上資郎、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第7報)‐PCVM加工面に作製した水晶振動子のデバイス特性評価‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 527-528, (2005).

  • 渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによるSiCの加工特性
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 529-530, (2005).

  • 藤原明大、上野浩司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    数値制御プラズマCVMによるEUVLマスク基板の平坦化(第1報)‐石英ガラスの加工特性‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532, (2005).

  • 加藤邦仁、伊藤公人、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    大気圧プラズマを用いた航空間分解能加工プロセスの開発‐シリコンの加工特性‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534, (2005).

  • 大道朱里、三村秀和、久保田亀章、山内和人、森　勇藏
    ＥＥＭの表面創成機構に関する研究-超純水および溶存酸素がSi(100)表面に与える影響-
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 537-538, (2005).

  • 増谷宗彦、森田健一、森　勇藏、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
    超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のCu汚染の洗浄効果‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 547-548, (2005).

  • 森田健一、澤井康二、後藤英和、山内和人、遠藤勝義、森　勇藏
    超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のDOP汚染の洗浄‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 549-550, (2005)..

  • 加藤　潤、久保田章亀、有馬健太、山村和也、森　勇藏、山内和人、遠藤勝義
    STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 779-780, (2005).

  • 石田剛志、有馬健太、佐野泰久、山村和也、森　勇藏、遠藤勝義
    大気圧プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)加工をいった4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 783-784, (2005).

  • 村田順二、一井愛雄、森勇藏、広瀬喜久治、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
    水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G21, (2005).

  • 柴原正文、稲垣官司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    大気圧プラズマ処理によるPETシートの表面改質
    表面技術協会第112回講演大会要旨集, 263-264 (2005).

  • 一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人
    表面修飾電極を用いた超純水中での電気化学加工法
    電気化学会第72回大会講演要旨集, 384, (2005).

  • 原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人
    触媒作用を援用した化学ポリシング法による4H-SiC(0001)の加工
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 59-60 (2005).

  • 渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森勇藏
    プラズマCVMによるSiCの加工特性
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 57-58, (2005).

  • 鐘築律夫, 中濱康治, 舩木　毅, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏
    プラズマCVMによるGaNの加工（第1報）−塩素プラズマによる加工−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 423-424, (2006).

  • 舩木　毅, 中濱康治, 鐘築律夫, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏
    プラズマCVMによるGaNの加工（第2報）−カソードルミネッセンスによる加工面の評価−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 425-426, (2006).

  • 柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 山本雄介, 滝　賢介, 佐野泰久
    プラズマＣＶＭによる超高周波水晶振動子の加工（第8報）−大気開放型PCVM加工装置の開発−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 427-428, (2006).

  • 藤原明大, 上野浩司, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏
    数値制御プラズマCVMによるEUVL用マスク基板の平坦化 −加工装置および加工条件の改良による平坦度の向上−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 429-430, (2006).

  • 松山智至，三村秀和，湯本博勝，原英之，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発
    第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　シンポジウム論文集, 57 (2006).

  • 湯本博勝、半田宗一郎、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森勇藏、 西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    位相回復法にもとづく全反射ミラー表面形状計測
    第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　シンポジウム論文集, 114 (2006).

  • 三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也，山内和人
    超高精度X線ミラーの作製とコヒーレントX線による評価,
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 233-234 (2006).

  • 原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 竹川雄也，山内和人,
    触媒を援用した化学ポリシング法による4H-SiCの加工（第2報）-加工速度の検討-
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 557-558 (2006).

  • 原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人,
    触媒作用を援用した基準形状転写エッチング法によるSiCの平坦化
    2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集，417-417 (2006). .

  • 片岸恵子，松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇蔵，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
    2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2　P811(2006).

  • 石田剛志，有馬健太，原英之，山村和也，山内和人，遠藤勝義
    新規な研磨加工を行った4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1115-1116 (2006).

  • 一井愛雄、後藤英和
    低環境負荷型電気化学加工法の開発―単結晶シリコン(001)表面の形状パターニング―
    電気化学会第73回大会 講演要旨集P.311(2006).

  • 増田隆哉、佐野泰久、三村秀和、山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化によるSOI膜厚の均一化
    2006年度精密工学会関西支部　講演論文集、83-84(2006)

  • 三村秀和
    KBミラー光学系による硬Ｘ線の回折限界ナノ集光
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 2006年応用物理学会論文賞（奨励賞）受賞講演

  • 原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
    Mo触媒を利用した触媒基準エッチング法によるSiCの平坦化
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集，373-373 (2006).

  • 有馬健太 ，原　英之,　佐野泰久, 三村秀和,　石田剛志，八木圭太 ，久保田章亀，山内和人
    湿式環境下で作製した4H-SiC(0001)1×1表面のSTMによる原子像観察
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集，368-368 (2006).

  • 片岸恵子，松山智至，志村まり，三村秀和，湯本博勝，半田宗一郎，芝谷昭彦，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集, 1183-1183 (2006).

  • 三村秀和, 湯本博勝, 半田宗一郎，松山智至，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    At-wavelength形状計測法による硬X線ナノ集光鏡の開発
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 207-208 (2006).

  • 原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第3報）―モリブデン触媒の検討―
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532 (2006).

  • 村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法によるGaNの加工
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534 (2006).

  • 岡本亮太・有馬健太・佐野泰久・原　英之・石田剛志・八木圭太・山内和人・遠藤勝義
    湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 539-540 (2006).

  • 久保田章亀，八木圭太，安井平司，山内和人
    触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究　―焼結SiC表面研磨の試み―
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 253-254 (2006).

  • 原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法によるSiC平坦化における代替触媒の評価
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 110-111 (2006).

  • 村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法によるGaNの加工
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 112-113 (2006).

  • 岡本亮太，有馬健太，佐野泰久，原　英之，石田剛志，八木圭太，久保田章亀，三村秀和，山内和人
    湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 104-105 (2006).

  • 湯本博勝、三村秀和、松山智至、半田宗一郎、木村隆志、井阪貴男、佐野泰久、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    硬X線集光ミラーのための波面誤差評価法の開発
    第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 13P037p69, (2007).

  • 原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
    触媒基準エッチング法による2インチ４H-SiCウエハの平坦化
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 433, (2007).

  • 村田順二、久保田章亀、八木圭太、佐野泰久、原　英之、有馬健太、三村秀和、山内和人
    触媒基準エッチング法によるGaN基板の平坦化加工
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 1486, (2007).

  • 有馬健太，岡本亮太，原英之，佐野泰久，三村秀和，八木圭太，久保田章亀，山内和人
    触媒基準エッチング法により平坦化した4H-SiC(0001)表面不動態化構造の原子レベル解析
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 433, (2007).

  • 片岸恵子、松山智至、三村秀和、湯本博勝、佐野泰久、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素の高感度観察
    第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 133, (2007).

  • 山内和人(Invited)
    「硬Ｘ線ナノビームの形成」
    高エネルギー物理学研究機構 放射光セミナー

  • 古川隼人、高橋幸生、久保英人、山内和人、石川哲也、松原英一郎
    コヒーレントＸ線回折顕微法による物質構造変化の動画化に向けた基礎研究
    日本金属学会秋期大会, 岐阜大学, 466, (2007).

  • 久保英人、高橋幸生, 古川隼人、西野吉則, 山内和人、石川哲也、松原英一郎
    元素識別コヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    日本金属学会秋期大会, 岐阜大学, 466, (2007).

  • 高橋幸生, 西野吉則, 古川隼人、久保英人、山内和人、松原英一郎、石川哲也
    コヒーレントＸ線回折顕微法の空間分解能向上のための新たな試み
    日本金属学会秋期大会, 岐阜大学, 423, (2007).

  • 岡本武志，佐野泰久，原　英之，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和，山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた2インチ4H-SiCウェハの平坦化加工
    精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会　講演論文集，23 (2007).

  • 加藤武寛，佐野泰久，三村秀和，原英之，山内和人
    PCVM（Plasma Chemical Vaporization Machining）を用いたSiCウエハーのベベル加工の検討
    精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会講演論文集,21-22(2007)

  • 木村隆志、三村秀和、松山智至、湯本博勝、半田宗一郎、佐野泰久、山内和人
    硬Ｘ線集光光学系における波面補正法の開発
    精密工学会２００７年度関西地方定期学術講演会講演論文集、97-98(2007)

  • 加藤武寛，佐野泰久，原　英之，三村秀和，山村和也，山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハのベベル加工
    第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集,411,(2007)

  • 岡本武志，佐野泰久，原　英之，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和，山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた2インチ4H-SiC(0001)の平坦化加工
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会予稿集, 410 (2007).

  • 増田隆哉　佐野泰久　三村秀和　山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化によるSOIウエハの均一化
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, ポスターセッション　6a-P10-1 (2007).

  • 芝谷昭彦，三村秀和，石倉寛之，佐野泰久，山内和人
    反射型工学素子作製のためのナノ精度表面転写法の開発
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, 5p-W-10 (2007).

  • 片岸恵子，松山智至, 志村まり，三村秀和，湯本博勝,半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    クライオ走査型蛍光X線顕微鏡による急速凍結された細胞の元素分布測定
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, 6p-A-20 (2007).

  • 原 英之, 佐野泰久, 岡本武志，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第4報）―2インチウエハの平坦化―
    2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 1001-1002 (2007).

  • 三村秀和
    超高精度Ｘ線ミラーの作製とその応用
    第62回　物理学会秋季大会　シンポジウム基調講演.

  • 山内和人
    硬X線Sub-10nmビームの形成と顕微鏡システムの構築
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).(invited)

  • 半田宗一郎、三村秀和、湯本博勝、木村隆志、松山智至、佐野泰久、玉作賢治、西野吉則、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    波面補正による理想的な硬X 線ナノビーム形成
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).

  • 芝谷昭彦、三村秀和、石倉寛之、佐野泰久、山内和人
    反射型光学素子作製のためのナノ精度表面形状転写プロセスの構築
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).

  • 古川隼人、高橋幸生、久保英人、西野吉則、山内和人、石川哲也、松原英一郎
    コヒーレントX線回折顕微法による金属材料のナノ組織解析
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム、中部大学、89、(2007).

  • 久保英人、高橋幸生、古川隼人、西野吉則、山内和人、石川哲也、松原英一郎
    X線異常散乱現象を利用したコヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム、中部大学、91、(2007).

  • 藤井正輝，松山智至, 志村まり，三村秀和，前島一博，片岸恵子，湯本博勝, 半田宗一郎,木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡による細胞内元素分布の測定
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム、中部大学、(2007).

  • 原 英之, 森川良忠，佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，岡本武志，三村秀和, 山内和人
    4H-SiC(0001)表面におけるステップ構造生成機構の考察―表面エネルギーの第一原理分子動力学計算―
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第16回講演会予稿集, 31-32 (2007).

  • 加藤武寛，佐野泰久，堀勉，原　英之，山村和也，三村秀和，勝山義昭，山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハの薄化
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第16回講演会予稿集, 29-30 (2007).

  • 村田順二、八木圭太、佐野泰久、原英之、有馬健太、岡本武志、三村秀和、山内和人
    光照射援用型化学研磨法によるGaN基板平坦化加工
    SiC関連ワイドギャップ半導体研究会講演会　第16回講演会予稿集、69-70(2007)

  • 岡本武志、佐野泰久、原英之、有馬健太、八木圭太、村田順二、三村秀和、山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた4H-SiC(0001)8°offウェハの平坦化加工
    SiC関連ワイドギャップ半導体研究会講演会　第16回講演会予稿集、33-34(2007)

  • 木村隆志、大橋治彦、三村秀和、山川大輔、津村尚史、岡田浩巳、増永竜彦、仙波泰徳、後藤俊治、石川哲也、山内和人
    大型Ｘ線ミラーの高精度形状計測法の開発
    第９回X線結像光学シンポジウムプログラム予稿集、95-96(2007)

  • 山川大輔，三村秀和，木村隆志，松山智至，湯本博勝，佐野泰久，玉作賢治，西野吉則，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラーを用いたX 線集光における長時間集光状態維持システムの開発
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).

  • Elastic emission machining for fabrication of extreme ultraviolet optical elements
    金岡政彦，三村秀和，山内和人，森勇藏，劉長嶺，野村和司，安藤学，瀧野日出雄，福田惠明
    NGL2007 次世代リソグラフィーワークショップ予稿集, 97-100，(2007)

  • 三村秀和、森田晋也、木村隆志、山川大輔、林　偉民、上原嘉宏、 湯本博勝、松山智至、西野吉則、玉作賢治、大橋治彦、矢橋牧名、石川哲也、大森　整、山内和人
    KBミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発 -400mmX線集光ミラーの作製と評価-
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，3A001p97，(2008)

  • 半田宗一郎，玉作賢治，三村秀和，湯本博勝，木村隆志，松山智至，佐野泰久，西野吉則，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    硬X線反射用多層膜ミラーの開発
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、13P024p66(2008)

  • 木村隆志、大橋治彦、三村秀和、山川大輔、津村尚史、岡田浩巳、増永竜彦、仙波泰徳、後藤俊治、石川哲也、山内和人
    大型Ｘ線ミラーの高精度形状計測法の開発
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、66(2008)

  • 古川隼人，高橋幸生, 久保英人, 西野吉則, 山内和人，石川哲也，松原英一郎
    Cu細線のコヒーレントＸ線回折測定
    第21回日本放射光学会年会, 立命館大学, 2008, 1

  • 久保英人，高橋幸生, 古川隼人, 西野吉則, 山内和人，石川哲也，松原英一郎
    元素識別コヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    第21回日本放射光学会年会, 立命館大学, 2008, 1

  • 藤井正輝，松山智至， 志村まり，三村秀和，前島一博，片岸恵子， 湯本博勝， 半田宗一郎， 佐野泰久， 西野吉則，玉作賢治， 矢橋牧名， 石川哲也， 山内和人
    Kirkpatrick-Baez ミラー光学系を搭載した走査型蛍光X 線顕微鏡による細胞内元素分布の観察
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 13P103p86, (2008).

  • 山川大輔，三村秀和，木村隆志，松山智至，湯本博勝，佐野泰久，玉作賢治，西野吉則，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    KBミラー光学系におけるX線集光状態維持システム
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 132, (2008)

  • 松山智至
    硬Ｘ線ミラーの現状とその応用
    ERLサイエンス研究会１, (2008). (invited)

  • 高橋幸生
    コヒーレントＸ線回折顕微法の材料科学応用に関する取組み
    ＰＦ研究会「Ｘ線位相利用計測の将来展望」，高エネルギー加速器研究機構，2008，1（依頼講演）

  • 三村秀和
    ラージスケールナノ精度形状転写法の開発
    独立行政法人中小企業基盤整備機構：第10回産学技術交流マッチング定例会（招待講演）

  • 木村隆志、大橋治彦、三村秀和、山川大輔、津村尚史、岡田浩巳、増永竜彦、仙波泰徳、後藤俊治、石川哲也、大森整、山内和人
    大型X線ミラー用スティッチング干渉計の開発
    2008年度精密工学会春季大会

  • 原 英之, 森川良忠，佐野泰久, 有馬健太，服部 梓，村田順二，岡本武志，三村秀和, 山内和人
    第一原理分子動力学計算を用いた4H-SiC 表面エッチング機構の考察
    2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，436 (2008).

  • 加藤武寛，佐野泰久，堀勉，原　英之，山村和也，三村秀和，勝山義昭，山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の薄化
    2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会予稿集,435(2008).

  • 石倉寛之，三村秀和，芝谷昭彦，佐野泰久，山内和人
    反射型工学素子作製のためのナノ精度表面転写法の開発
    2008年春季 第55回応用物理学関連連合講演会 , 29a-ZL-24(2008).

  • 定国　峻、村田順二、佐野泰久、有馬健太、原　英之、岡本武志、三村秀和、山内和人
    光照射援用化学研磨法によるGaN基板の平坦化加工
    第55回応用物理学会関係連合講演会,377(2008)

  • 三村秀和（招待講演）
    放射光およびX線自由電子レーザー施設における集光光学系の開発
    理研シンポジウム：第壱回「先進ものづくり技術によるアナライザーキーコンポーネント開発基盤の構築状況」

  • 久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 松原英一郎, 石川哲也, 西野吉則
    元素識別可能なコヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    精密工学会関西支部　2008年度関西地方定期学術講演会, 堺市産業振興センター, 2008, 7

  • 山川大輔、木村隆志、三村秀和、松山智至、山内和人、森田晋也、林偉民、上原嘉宏、大森整、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、湯本博勝、大橋治彦
    K-BミラーによるX線自由電子レーザー集光システムの開発−大型X線集光ミラーの作製−
    精密工学会関西支部　2008年度関西地方定期学術講演会, 堺市産業振興センター, 2008, 7

  • 定国峻，村田順二，佐野泰久，有馬健太，服部梓，原英之，岡本武志，三村秀和，山内和人
    固体触媒を用いた光援用化学研磨法によるＧａＮ基板の平坦化加工
    精密工学会2008年度関西地方定期学術講演会講演論文集，29 (2008)

  • 三村秀和, 森田晋也, 木村隆志, 山川大輔, 林偉民, 上原嘉宏, 松山智至, 湯本博勝, 大橋治彦, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 大森整, 山内和人
    K.Bミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発-大型X線集光ミラーの集光特性の評価-
    2008年度精密工学会秋季大会　学術講演会講演論文集　p425-426

  • 森田晋也,三村秀和, 林偉民, 上原嘉宏, 山形豊, 木村隆志, 山川大輔, 松山智至, 湯本博勝, 大橋治彦, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人, 大森整
    XFEL大型集光ミラーの高能率・高精度加工法の開発
    2008年度精密工学会秋季大会　学術講演会講演論文集　p427-428

  • 金岡政彦、瀧野日出雄、野村和司、三村秀和、山内和人、森勇藏
    EEM(Elastic emissinon machining)のEUV光学素子作製への適用-粉末粒子の挙動解析による加工速度の考察-
    2008年度精密工学会秋季大会　学術講演会講演論文集　p823-824

  • 村田順二，定国峻，八木圭太，佐野泰久，原英之，有馬健太，岡本武志，三村秀和，山内和人
    光照射援用化学研磨法による自立GaN基板 (0001)の平坦化とその評価
    2008年度秋季　第69回応用物理学関係連合講演会

  • 加藤武寛, 佐野泰久, 会田浩平, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討
    2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会, 351(2008)

  • 古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也, 松原英一郎
    コヒーレントＸ線回折顕微法によるCu細線のボイド生成過程のその場観察
    日本金属学会秋期大会, 熊本大学, 2008, 9

  • 久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 松原英一郎, 石川哲也, 西野吉則
    コヒーレントＸ線回折顕微法による金属材料の電子密度分布定量評価法の開発
    日本金属学会秋期大会, 熊本大学, 2008, 9

  • 原 英之, 森川良忠，佐野泰久, 山内和人(招待講演)
    第一原理分子動力学シミュレーションを用いた4H-SiC表面エッチング機構の考察
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会　第3回個別討論会(2008)

  • 原 英之, 森川良忠, 佐野泰久, 山内和人
    4H-SiC(0001)1×1の表面エネルギーの表面終端依存性
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会 予稿集，130 (2008)

  • 村田順二，定国　峻，八木圭太，佐野泰久，原　英之，有馬健太，岡本武志，三村秀和，山内和人
    光電気化学的手法を利用したGaN平坦化表面作製法とその評価
    第17回SiCおよび関連ワイドギャップ半導体研究会 (2008)

  • 久保田章亀，宮本士郎，村田順二，八木圭太，原英之，安井平司，佐野泰久，山内和人
    鉄微粒子を利用した単結晶SiCおよびGaN基板の平坦化加工
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会 予稿集，67 (2008)

  • 会田浩平, 佐野泰久, 加藤武寛, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会予稿集, 66 (2008)

  • 白沢佑樹，佐野泰久，岡本武志，山内和人
    SBDのI-V測定によるSiC加工表面の結晶性評価
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会 予稿集，138 (2008)

  • 三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
    多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面転写法の開発
    第10回関西表面技術フォーラム　予稿集　75

  • 三村秀和
    高精度Ｘ線ミラーの作製とナノビーム応用
    第22回放射光学会年会、放射光科学合同シンポジウム　予稿集　37

  • 半田宗一郎，木村隆志，三村秀和，湯本博勝，松山智至，佐野泰久，玉作賢治，西野吉則，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    硬X線微小集光用多層膜ミラーの開発
    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 11P018 P.74 (2009)

  • 木村隆志, 半田宗一郎、三村秀和, 湯本博勝, 山川大輔, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治、西野吉則、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    硬Ｘ線ナノビーム用波面補正ミラーの開発
    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム (2009/1/9-12　東京大学)　シンポジウム予稿集 pp.74

  • 古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎
    コヒーレントＸ線回折顕微法によるエレクトロマイグレーションボイドの生成過程のその場観察
    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 12P100 P.132

  • 久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎
    コヒーレントＸ線回折顕微法によるナノ構造物の電子密度分布定量評価法の開発
    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 12P101 P.133　ポスター賞受賞

  • 藤井正輝, 松山智至, 三村秀和, 脇岡敏之, 半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    Advanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の開発
    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(JSR09), 12P108, (2009)

  • 山川大輔、三村秀和、木村隆志、松山智至、佐野泰久、玉作賢治、西野吉則、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    フレネルミラーを用いたX線の可干渉性の評価
    第22回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 11P020 p74

  • 堤良輔, 高橋幸生, 三村秀和, 西野吉則, 古川隼人, 久保英人, 石川哲也, 山内和人
    K-Bミラー集光コヒーレントＸ線回折顕微法の検討
    第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 12P102 P.133

  • 三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
    多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面転写法の開発
    2009年度精密工学会春季大会　講演会講演論文集　263-264

  • 原 英之，佐野泰久，森川良忠，岡本武志，八木圭太，村田順二，定国 峻, 有馬健太，山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第5報）―加工原理の考察―
    2009年度精密工学会春季大会　講演会講演論文集　1011-1012

  • 村田順二，定国　峻，八木圭太，佐野泰久，原　英之，有馬健太，岡本武志，三村秀和，山内和人
    光電気化学プロセスおよび固体酸触媒を利用したGaN表面平坦化技術の開発
    2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会

  • 岡本武志，佐野泰久，原　英之，畑山智亮，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和，冬木隆，山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiC 8°offウェハの平坦化加工
    2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，445 (2009).

  • 定国　峻，村田順二，八木圭太，佐野泰久，原　英之，有馬健太，岡本武志，三村秀和，山内和人
    研磨起因欠陥を有するGaN基板表面の光電気化学エッチング
    2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集，1448 (2009).

  • 三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
    多孔質裏打ち電鋳法による高精度光学素子の作製
    第119回表面技術協会講演大会　予稿集 164

  • 三村秀和
    ナノ精度表面創成プロセスの開発とその応用
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 139-140

  • 木村隆志、半田宗一郎、山川大輔、湯本博勝、三村秀和、松山智至、佐野泰久、石川哲也、山内和人
    硬Ｘ線用高精度波面制御システムの開発
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 147-148

  • 半田宗一郎、木村隆志、山川大輔、湯本博勝、三村秀和、松山智至、佐野泰久、石川哲也、山内和人
    Pt/C多層膜集光ミラーによる硬Ｘ線Sub-10nm集光
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 149-150

  • 山川大輔、木村隆志、八須洋輔、大森整、山内和人
    ＸＦＥＬ集光システムの開発
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 155-156

  • 三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
    多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築-多孔質内部への電析条件の検討―
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 139-140

  • 三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
    多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築-減圧電析法の件等とミラーへの応用
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 181-182

  • 白沢佑樹，佐野泰久，村田順二，山内和人
    ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 175-176

  • 三村秀和
    ミラー光学素子による硬Ｘ線ナノ集光システムの開発
    日本放射光学会若手研究科　Ｘ線ナノ集光技術研究会

  • 会田浩平,　佐野泰久, 山村和也，三村秀和，松山智至，山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討
    精密工学会 2009年度関西地方学術講演会 講演論文集 31-32

  • 白沢佑樹，佐野泰久，岡本武志，山内和人
    SiC加工表面のショットキーバリアダイオードを用いた電気特性評価
    精密工学会 2009年度関西地方学術講演会 講演論文集 67-68

  • 会田浩平, 佐野泰久, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
    ワイヤー電極を用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Mchining)によるSIC基板の切断加工
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 161-162

  • 定国　峻, 村田順二, 八木圭太, 佐野泰久, 有馬健太, 岡本武志, 三村秀和, 山内和人
    光電気化学プロセス及び固体酸触媒を用いたGaN基板平坦化技術の開発
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 173-174

  • 白沢佑樹, 佐野泰久, 村田順二, 山内和人
    ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価
    2009年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 175-176

  • 佐野泰久，岡本武志，八木圭太，橘　一真，村田順二，定國　峻，有馬健太，山内和人
    触媒基準エッチング法によるSiC基板表面の粗さ向上
    第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 382

  • 山内和人，佐野泰久，村田順二，定国　峻
    GaN結晶表面加工技術の新展開
    第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 39 (Invited)

  • 藤井正輝，松山智至，脇岡敏之，三村秀和，佐野泰久，山内和人
    4枚の非球面ミラーを用いた硬X線結像光学系の開発
    第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 8p-ZF-5

  • 堤良輔、高橋幸生、西野吉則、三村秀和、久保英人、石川哲也、山内和人
    KBミラー集光放射光Ｘ線を用いた高分解能回折顕微法の実現可能性の検討
    精密工学会関西支部　2009年度関西地方定期学術講演会

  • 高橋幸生
    集光Ｘ線を利用した高分解能回折顕微法の開発
    日本放射光学会第一回若手研究会「Ｘ線ナノ集光技術研究会」 11

  • 堤良輔、高橋幸生、是津信行、久保英人、山内和人、西野吉則、石川哲也、松原英一郎
    高分解能コヒーレントＸ線回折顕微法の開発と金ナノケージの電子密度分布観察
    日本金属学会秋期大会 532

  • 脇岡敏之，松山智至，藤井正輝，三村秀和，佐野泰久，山内和人
    高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
    2009年度精密工学会秋季大会　学術講演会講演論文集 151-152

  • 松山智至
    X線顕微鏡を用いた生体試料観察の展望
    イメージング若手の会「光塾」抄録集 12

  • 松山智至
    ミラー集光光学系を用いた走査型X線顕微鏡の開発
    日本放射光学会第一回若手研究会「Ｘ線ナノ集光技術研究会」 13-14

  • 松山智至
    走査型X線顕微鏡を用いた細胞イメージング
    高度好熱菌丸ごと一匹プロジェクト第8回連帯研究会要旨集 11

  • 藤原宏樹
    点接触EHLの転がり粘性抵抗
    トライボロジー会議予稿集 東京　2009-5，pp. 119-120

  • 橘一真，佐野泰久，岡本武志，白沢佑樹，原英之，有馬健太，服部梓，八木圭太，村田順二，定国峻，山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた4H-SiC(000-1) C面の平坦化加工
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第18回講演会, 41-42 (2009)

  • 岡本武志，佐野泰久，橘一真，白沢佑樹，原英之，有馬健太，服部梓，八木圭太，村田順二，定国峻，山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた4H-SiC基板の表面粗さ除去
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第18回講演会, 45-46 (2009)

  • 定国峻，村田順二，八木圭太，佐野泰久，岡本武志，有馬健太，服部梓，山内和人
    加工変質層を含むGaN基板の高能率平坦化加工
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第18回講演会, 132-133 (2009)

  • 高橋幸生 (invited)
    コヒーレントX線回折・散乱イメージング技術の開発とその応用
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p37 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 松山智至，藤井正輝，脇岡敏之，木谷直隆，三村秀和，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    結像型X線顕微鏡のための4枚ミラー反射型結像光学系の開発
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p104 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 木村隆志，三村秀和，半田宗一郎，湯本博勝，山川大輔，松山智至，佐野泰久，玉作賢治，西野吉則，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    硬Ｘ線ナノ集光ビーム用波面誤差算出法の開発
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p66 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 藤井正輝，松山智至，三村秀和，脇岡敏之，半田宗一郎，木村隆志，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p136 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 久保英人、高橋幸生、是津信行、堤良輔、榊茂之、西野吉則、石川哲也、松原英一郎、山内和人
    KBミラー集光X線を用いたコヒーレントX線回折顕微法の応用
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p133 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 山川大輔, 三村秀和, 木村隆志, 松山智至, 八須洋輔, 大森整, 山内和人
    大型ミラーによるX線自由電子レーザー用集光システムの開発
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p114 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 脇岡敏之，松山智至，藤井正輝，木谷直隆，三村秀和，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p136 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 堤 良輔、高橋幸生、西野吉則、久保英人、榊 茂之、三村秀和、松山智至、是津信行、石川哲也、松原英一郎、山内和人
    KBミラー放射光集光X線を用いた高分解能コヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p133 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 榊茂之、高橋幸生
    高分解能X線回折顕微法を実現するための回折強度データ取得法の検討-ピクセルシフトによる回折パターンの高解像度化-
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p133 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 横山光，三村秀和, 半田宗一郎，木村隆志, 山川大輔，松山智至, 山内和人
    硬Ｘ線用多層膜集光ミラーの光学設計および性能シミュレーション
    第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p114 (2010 1/6-1/9，兵庫，姫路)

  • 会田浩平，佐野泰久，山村和也，三村秀和，松山智至，山内和人
    ワイヤー電極を用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)によるSiC基板の切断加工
    2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 17a-TJ-12 (2010)

  • 岡本武志，佐野泰久，定国　峻，橘　一真，有馬健太，服部　梓，八木圭太，村田順二，白沢佑樹，山内和人
    触媒基準エッチング法によるSiCの平坦化と加工表面評価
    2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 17a-TJ-13 (2010)

  • 木谷直隆，松山智至，藤井正輝，脇岡敏之，三村秀和，山内和人
    4枚の非球面ミラーを用いた硬X線結像光学系の開発
    第57回応用物理学関係連合講演会，予稿集p63，19a-W-6 (2010 3/17-3/20，神奈川)

  • 服部　梓，岡本武志，定国　峻，村田順二，有馬健太，佐野泰久，遠藤勝義，山内和人
    300nm以上のドメインサイズをもつ4H-SiC(0001)上の高品質モノグラフェン
    2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 18p-TE-12 (2010)

  • 三村 秀和, 石倉 寛之, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人
    多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築
    2010年精密工学会　春季学術講演会, 精密工学会学術講演会講演論文集, Vol. 2010S pp.305-306. (2010).

  • 定国峻, Ngo Xuan Dai, 佐野泰久, 有馬健太, 服部梓, 村田順二, 岡本武志, 橘一真, 山内和人
    白金触媒とHF溶液を用いた平坦化法によるSiC加工表面の高分解能TEM観察
    2010年度精密工学会春季大会　講演会講演論文集, 303-30 (2010)

  • 脇岡敏之，松山智至，藤井正輝，木谷直隆，三村秀和，佐野泰久，山内和人
    高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
    2010年度精密工学会 春季大会学術講演会，アブストラクト集p51，D33 (2010 3/16-3/18，埼玉)

  • 吉永圭之介, 上坂翔平, 佐野泰久, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法の開発−多電極型プラズマ発生装置の試作と評価−
    2010年度精密工学会春季大会　講演会講演論文集, 309-310 (2010)

  • 横山　光・半田宗一郎・三村秀和・木村隆志・松山智至・佐野泰久・山内和人
    硬Ｘ線用多層膜の作製と評価
    2010年度精密工学会春季大会　講演会講演論文集, 287-288 (2010)

  • 今井 将太, 山川 大輔, 三村 秀和, 木村 隆志, 八須 洋輔, 大森 整, 山内 和人
    大型ミラーによる硬Ｘ線集光システムの開発と集光特性の評価
    2010年度精密工学会春季大会 講演会講演論文集, 289-290 (2010)

  • 八須 洋輔, 上原 嘉宏, 大森 整, 林 偉民, 三村 秀和, 山川 大輔, 木村 隆志, 山内 和人, 高橋 豊, 山田 大輔
    ELID研削による石英長尺ミラーの製作
    2010年精密工学会　春季学術講演会, 精密工学会学術講演会講演論文集, Vol. 2010S pp.263-264. (2010).

  • 橘一真，佐野泰久，岡本武志，有馬健太，服部梓，八木圭太，村田順二，定国峻，白沢佑樹，山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiC基板の平坦化加工と加工表面の評価
    精密工学会2010年度関西地方定期学術講演会講演論文集，74-75 (2010)

  • 吉永圭之介，上坂翔平，佐野泰久，三村秀和，松山智至，山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法によるSOIウェハSi層の厚さ均一化 -多電極型プラズマ発生装置の試作と評価-
    精密工学会 2010年度関西地方学術講演会 講演論文集 64-65

  • 横山光，三村秀和，木村隆志，半田宗一郎，松山智至，佐野泰久，山内和人
    硬X線集光用多層膜ミラーの光学設計に関する研究
    精密工学会 2010年度関西地方学術講演会 講演論文集 18-19

  • 三村秀和、木村隆志、横山光、今井将太、湯本博勝, 佐野泰久, 石川哲也, 山内和人
    多層膜ミラーによるSub-10nm 硬Ｘ線集光システムの開発
    2010年精密工学会 秋季学術講演会，アブストラクト集 P51，K31 (2010 9/27-9/29，名古屋)

  • 松山智至，脇岡敏之，木谷直隆，三村秀和，山内和人
    4枚の非球面ミラーを用いた結像型硬X線顕微鏡の開発
    2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会，アブストラクト集 P51，K32 (2010 9/27-9/29，名古屋)

  • 会田浩平，佐野泰久，西川央明，山村和也，三村秀和，松山智至，山内和人
    PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の全面加工
    2010年度精密工学会秋季大会　講演会講演論文集 735-736

  • 脇岡敏之，松山智至，木谷直隆，三村秀和，山内和人
    高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
    2010年度精密工学会 秋季大会学術講演会，アブストラクト集 P51，K34 (2010 9/27-9/29，名古屋)

  • 定国峻，村田順二，八木圭太，佐野泰久，有馬健太，岡本武志，橘一真，山内和人
    化学エッチングを用いたGaN基板の高能率平坦化加工
    2010年度秋季 第71回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 15p-B-14 (2010)

  • 高橋幸生、是津信行、堤良輔、山内和人、西野吉則、石川哲也、松原英一郎
    高分解能コヒーレントＸ線回折顕微法による金属ナノ粒子の三次元電子密度マッピング
    日本金属学会2010年秋期大会 226 (2010)

  • 定国峻，Ngo Xuan Dai，佐野泰久，有馬健太，服部梓，八木圭太，村田順二，岡本武志，橘一真，山内和人
    触媒基準エッチング法による平坦化4H-SiC表面の断面TEM観察
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第19回講演会, 67-68 (2010)

  • 会田浩平，佐野泰久，西川央明，山村和也，三村秀和，松山智至，山内和人
    PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) を用いた2インチSiC基板の薄化
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第19回講演会, 56-57 (2010)

  • 西川央明，佐野泰久，会田浩平，Chaiyapat Tanpatjaroen，山村和也，三村秀和，松山智至，山内和人
    PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) を用いたSiC基板の切断加工の検討　―シャドウマスクを用いた切断加工の基礎検討―
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第19回講演会, 60-61 (2010)

  • 高橋幸生、堤 良輔、西野吉則、是津信行、松原英一郎、山内和人、石川哲也
    試料厚さの効果を考慮した高分解能コヒーレントＸ線回折顕微法
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p67 (2011)

  • 堤 良輔、高橋幸生、鈴木明大、西野吉則、是津信行、松原英一郎、石川哲也、山内和人
    高分解能コヒーレントＸ線回折顕微法による金銀ナノボックスの三次元電子密度マッピング
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p144 (2011)

  • 鈴木明大、高橋幸生、堤 良輔、西野吉則、松原英一郎、山内和人、石川哲也
    ＫＢミラー集光Ｘ線を用いた高分解能走査型回折顕微法の開発
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p144 (2011)

  • 大坂泰斗, 矢橋牧名, 佐野泰久, 登野健介, 会田浩平, 三村秀和, 松山智至, 石川哲也, 山内和人
    XFEL用オートコリレータに用いる窓型Siビームスプリッタの加工・評価
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p67 (2011)

  • 脇岡敏之、松山智至、木谷直隆、三村秀和、佐野泰久、香村芳樹、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p145 (2011)

  • 木谷直隆，松山智至，脇岡敏之，中森紘基，三村秀和，木村隆志，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    色収差のない結像型硬X線顕微鏡構築のためのAdvanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の開発
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p146 (2011)

  • 中森紘基，松山智至，脇岡敏之，木谷直隆，三村秀和，佐野泰久，西野吉則，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    波動光学シミュレーションを用いたAdvanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の検討
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p146 (2011)

  • 松山智至
    ミラー光学素子による硬Ｘ線顕微鏡の現状と4枚の非球面ミラーを用いた結像光学系の実現
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p53 (2011)

  • 今井将太、木村隆志、三村秀和、横山光、湯本博勝、松山智至、香村芳樹、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    硬X線集光用高精度形状可変ミラーの作製と評価
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p83 (2011)

  • 横山光、三村秀和、木村隆志、今井将太、湯本博勝、松山智至、香村芳樹、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    硬X線集光用多層膜ミラーの開発
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p83 (2011)

  • 木村隆志、三村秀和、横山光、今井将太、湯本博勝、松山智至、香村芳樹、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    二次元硬X線Sub-10nm集光システムの構築
    第24回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p83 (2011)

  • 松山智至
    全反射X線ミラーを用いたX線自由電子レーザーのナノ集光
    第5回「文部科学省　最先端の光の創成を目指したネットワーク研究拠点プログラム」シンポジウム，(2013 1/11，東京)

  • 山内和人
    コヒーレントＸ線による走査透過Ｘ線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用
    第5回「文部科学省　最先端の光の創成を目指したネットワーク研究拠点プログラム」シンポジウム，(2013 1/11，東京)

  • 福井亮介，松山智至，金章雨，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山哲夫，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    X線回折格子を用いたXFELナノビームのワンショット波面計測
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p65 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 松山智至，岡田浩巳，恵美陽治，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，津村尚史，石川哲也，山内和人
    1枚の基板上に作製された1次元Wolterミラーの開発
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p89 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 恵美陽治，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた色収差のない結像型硬X線顕微鏡の開発
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p90 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 鈴木明大，古宅伸，山内和人，香村芳樹，石川哲也，高橋幸生
    フォーカスビームとデフォーカスビームを相補利用するマルチモードX線タイコグラフィー
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p106 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 古宅伸，鈴木明大，山内和人，香村芳樹，石川哲也，高橋幸生
    ブラッグ回折を利用したX線タイコグラフィーによるSi薄膜の歪み分布の観察
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p107 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 中森紘基，松山智至，今井将太，木村隆志，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    アダプティブ集光光学系のための高精度形状可変ミラーの開発
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p115 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 金章雨, 福井亮介, 松山智至, 小山貴久, 湯本博勝, 佐野泰久, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    X線自由電子レーザー集光用Pt/C多層膜の性能評価
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p116 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 大坂泰斗，矢橋牧名，佐野泰久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，松山智至，石川哲也，山内和人
    XFEL用オートコリレータの開発：Si(220)ビームスプリッタの作製
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集p116 (2013 1/12-1/14，愛知，名古屋)

  • 佐野泰久(invited)
    CAREによるワイドバンドギャップ材料のナノレベル平坦化メカニズム
    日本表面科学会　第74回表面科学研究会　平成24年度中部表面科学シンポジウム，(2013 1/26，愛知，名古屋)

  • 山内和人(invited)
    XFELの高精度集光鏡の開発
    レーザー学会年次大会，(2013 1/28-1/30，兵庫，姫路)

  • 後藤拓実，中森紘基，松山智至，今井将太，木村隆志，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
    大変形可能な硬X線集光用形状可変ミラーの開発―シミュレーションによる設計指針の検討―
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会，C64，アブスト集P. 15 (2013 3/13-3/15，東京，東京工業大学)

  • 松山智至，北村真一，佐野泰久，山内和人
    Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製 第5報−X線集光ミラーの作製−
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会，C67，アブスト集P. 14 (2013 3/13-3/15，東京，東京工業大学)

  • 岡田悠，西川央明，佐野泰久，山村和也，松山智至，山内和人
    PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の全面加工
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会，C69，アブスト集P. 14 (2013 3/13-3/15，東京，東京工業大学)

  • 佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，大西修，敏田道雄，岡田悠，西川央明，山内和人
    先端的難加工基板の高能率精密加工法の研究（第2報）−擬似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大−
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会，J34，アブスト集P. 45（2013/03/13-15，東京，東京工業大学）

  • 佐野泰久 (invited)，定國峻，浅野博弥，八木圭太，有馬健太，山内和人
    触媒表面反応を利用した新しい研磨法によるGaN基板表面の平坦化
    IIP2013 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会，I-2-1（2013/03/21-22，東京）

  • 大坂泰斗，佐藤尭洋，佐野泰久，登野健介，犬伏雄一，矢橋牧名，松山智至，石川哲也，山内和人
    ビームスプリッタを利用したその場XFELタイミングジッター計測システムの開発
    第60会応用物理学会春季学術講演会，28p-B1-8 (2013 3/27-3/30，東京，神奈川工科大学)

  • 高橋幸生(invited)
    コヒーレントX線回折イメージングの現状と将来展望
    日本顕微鏡学会第69回学術講演会，S6-D20am03（2013 5/20-5/22，大阪，吹田，ホテル阪急エキスポパーク）

  • 長平良綾香，金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
    硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会，11-C（2013/06/14，大阪，大阪工業大学）

  • 山口航，定國峻，礒橋藍，浅野博弥，岡本武志，佐野泰久，山内和人
    触媒表面基準エッチング法による機能性酸化物の平坦化加工
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会，37-G（2013/06/14，大阪，大阪工業大学）

  • 岡田悠，西川央明，佐野泰久，山村和也，松山智至，山内和人
    PCVM (Plasama Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の裏面薄化
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会，38-G（2013/06/14，大阪，大阪工業大学）

  • 後藤拓実，中森紘基，松山智至，今井将太，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
    ペンシルビームを用いた形状可変ミラーin-situ形状計測法の開発
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会，45-J（2013/06/14，大阪，大阪工業大学）

  • 木目歩美，松山智至，福井亮介，山内和人
    X線望遠鏡用ウォルターミラーのためのX線スローププロファイラの開発
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会，48-J（2013/06/14，大阪，大阪工業大学

  • 山内和人（invited）
    放射光X線のナノ集光技術とその応用
    2013年度精密工学会秋季学術講演会シンポジウム「光を用いた内部非破壊計測」，（2013/09/12，大阪，関西大学）

  • 塩澤昂祐，佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，大西修，畝田道雄，岡田悠，山内和人
    先端的難加工材料基板の高能率精密加工法の研究（第4報）；加工変質層の断面TEMによる評価とそのPCVM加工特性
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，Q06（ポスター P-103）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 礒橋藍，佐野泰久，定國峻，山内和人
    純水を用いた化学エッチングによる4H-SiC基板の平坦化加工
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，Q08（ポスター P-1）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 恵美陽治，松山智至，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
    Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた結像型硬X線顕微鏡の開発
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L30（ポスター P-47）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 中森紘基，後藤拓実，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
    硬X線集光用形状可変ミラーの開発-変形最適化手法の検討-
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L31（ポスター P-53）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 後藤拓実，中森紘基，松山智至，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
    形状可変ミラーを用いた光学パラメータ可変な硬X線集光光学系の開発-ペンシルビーム法による形状可変ミラーのin-situ形状修正-
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L32（ポスター P-113）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 大坂泰斗，平野嵩，矢橋牧名，佐野泰久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，小川奏，松山智至，石川哲也，山内和人
    大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチングの検討
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L33（ポスター P-71）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 長平良綾香，金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
    硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L36（ポスター P-13）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 金章雨，長平良綾香，小山貴久，湯本博勝，松山智至，佐野泰久，矢橋牧名，大橋治彦，石川哲也，山内和人
    X線自由電子レーザーを用いた硬X線集光用Pt/C多層膜の特性評価
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L37（ポスター P-36）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 福井亮介，松山智至，金章雨，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，百生敦，大橋治彦，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    X線回折格子を用いたX線自由電子レーザーのシングルショット波面計測
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L38（ポスター P-146）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 木目歩美，松山智至，福井亮介，山内和人
    X線望遠鏡用WolterミラーのためのX線スローププロファイラの開発-幾何光学と波動光学シミュレーションによる検討-
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L43（ポスター P-22）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 山口航，定國峻，礒橋藍，浅野博弥，佐野泰久，山内和人
    触媒表面基準エッチング法による機能性材料の平坦化加工
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L67（ポスター P-153）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 武居弘泰，佐野泰久，松山智至，山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法によるSi薄膜膜圧均一化加工法の精度向上
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会，L70（ポスター P-57）（2013/09/12-14，大阪，関西大学）

  • 金章雨（invited），長平良綾香，松山智至，福井亮介，西原明彦，小山貴久，湯本博勝，佐野泰久，矢橋牧名，大橋治彦，石川哲也，山内和人
    硬X線ナノ集光ミラー用Pt/C多層膜の作製と評価
    X線ナノ集光技術研究会2013，予稿集pp. 19-20（2013/11/17，大阪，中ノ島センター）

  • 山内和人(invited)，佐野泰久，有馬健太
    触媒表面基準エッチング (Catalyst reffered etching) による単結晶SiC，GaN，ZnOの原子スケール平坦化
    2013年真空・表面科学学術講演会，受賞講演（2013/11/26-28，茨城，つくば国際会議場）

  • 岡田悠，西川央明，佐野泰久，山村和也，松山智至，山内和人
    スリット電極を用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の裏面薄化
    SiC及び関連半導体研究第22回講演会，予稿集pp. 138, 139，B-11（2013/12/09-10，埼玉，埼玉会館）

  • 礒橋藍，佐野泰久，定國峻，山内和人
    純水のみを用いた触媒表面基準エッチング法による4H-SiC基板の平坦化
    SiC及び関連半導体研究第22回講演会，C-12（2013/12/09-10，埼玉，埼玉会館）

  • 山内和人(invited)
    "光を集める結晶精密加工：OSAKA-Mirrorのこれから"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.51，企画講演4-3，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 高橋幸生(invited)
    "コヒーレントX線が拓く新しい結晶学"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.52，企画講演4-5，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 松山智至，恵美陽治，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた結像型硬X線顕微鏡の開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.63，1D004，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 中森紘基，松山智至，後藤拓実，木村隆志，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "形状可変X線ミラーを用いた二次元集光光学系の開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.69，3D001，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 金章雨，長平良綾香，松山智至，福井亮介，西原明彦，小山貴久，湯本博勝，佐野泰久，大橋治彦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "硬X線自由電子レーザーシングルナノ集光用Pt/C多層膜の破壊特性評価"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.69，3D002，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 大坂泰斗，平野嵩，矢橋牧名，佐野泰久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，小川奏，松山智至，石川哲也，山内和人
    "XFEL用オートコリレータの開発；チャネルカット結晶内壁部の無歪み・平滑化"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.69，3D003，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "Ion Beam Figuringを用いた高精度X線集光ミラーの作製"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.73，11P009，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 西原明彦，福井亮介，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "チェス盤回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.74，11P013，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 後藤拓実，中森紘基，松山智至，木村隆志，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "アダプティブ集光光学系のための高精度形状可変ミラーの開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.74，11P014，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 長平良綾香，金章雨，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "硬X線用多層膜集光ミラーの表面平滑化による反射率向上に関する研究"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.80，11P040，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 木目歩美，松山智至，福井亮介，山内和人
    "X線望遠鏡用ウォルターミラーのためのX線スローププロファイラの開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.92，11P087，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 木野英俊，松山智至，恵美陽治，岡田浩巳，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，津村尚史，石川哲也，山内和人
    "1枚の基板上に作製された1次元ウォルターミラーの開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.93，11P089，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 恵美陽治，松山智至，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "結像型硬X線顕微鏡のためのコンパクトなAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.94，11P093，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 高橋幸生，鈴木明大，是津信行，苙口友隆，高山裕貴，関口優希，小林周，山本雅貴，中迫雅由
    "XFELコヒーレント回折イメージングによる金属ナノ粒子の組織と粒度分布の複合解析"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.110，5C002，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 鈴木明大，古宅伸，下村啓，山内和人，香村芳樹，石川哲也，高橋幸生
    "マルチスライスアプローチを用いた高分解能X線タイコグラフィー"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，予稿集pp.111，5C004，（2014 1/11-13，広島，広島国際会議場）

  • 山内和人(invited)
    "触媒基準エッチングによる炭化・窒化・酸化物結晶表面の平坦化"
    プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第131回研究会，特別講演1（2014/02/21，東京，プラザエフ）

  • 佐野泰久 (invited)
    "加工変質層を残さない超精密加工法"
    精密工学会主催　第365回講習会（2014/02/28，東京）

  • 礒橋藍，佐野泰久，岡本武志，加藤智久，山内和人
    "触媒表面エッチング法を用いた6インチ4H-SiC基板の平坦化加工"
    "Planarization of 6 inch 4H-SiC wafer by using Catalyst-referred Etching"
    第61回応用物理学会春季学術講演会，17p-E5-13（2014/03/17-20，神奈川，青山学院大学）

  • 塩澤昂祐，佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田英雄，宮下忠一，住澤春男，山内和人
    "革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作―基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性―"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会，D03（2014/03/18-20，東京，東京大学）

  • 平野嵩，大坂泰斗，矢橋牧名，佐野泰久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，小川奏，松山智至，石川哲也，山内和人
    "大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチング"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会，R33（2014/03/18-20，東京，東京大学）

  • 西原明彦，福井亮介，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "二次元位相回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会，予稿集pp. 88，R43（2014/03/18-20，東京，東京大学）

  • 中森紘基，後藤拓実，松山智至，木村隆志，佐野泰久，香村芳樹，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "圧電駆動型形状可変X線ミラーを用いたアダプティブ集光光学系の開発"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会，R45（2014/03/18-20，東京，東京大学）

  • 松山智至，恵美陽治，木野英俊，佐野泰久，香村芳樹，石川哲也，山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた高分解能かつ色収差のない硬X線顕微鏡の開発"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会，R46（2014/03/18-20，東京，東京大学）

  • 山内和人(invited)
    "触媒表面基準エッチングによる酸化、窒化、炭化物材料の平坦化"
    第四回先進研磨技術研究会，(2014/04/18，大阪，立命館大学梅田キャンパス）

  • 山内和人 (invited)
    "原子スケールの形状精度と平滑度の実現を目指して"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会，（2014/07/04，大阪，近畿大学東大阪キャンパス）

  • 栗生賢，武居弘泰，佐野泰久，松山智至，山内和人
    "高能率数値制御犠牲酸化のための多電極型大気圧プラズマ発生装置の開発"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会，31-G（2014/07/04，大阪，近畿大学東大阪キャンパス）

  • 平野嵩，大坂泰斗，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
    "硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発―χ軸回転に対する許容角度誤差の検討―"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会，43-J（2014/07/04，大阪，近畿大学東大阪キャンパス）

  • 西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "位相回折格子を用いたX線レーザナノビームの波面計測法の研究―フーリエ変換法と縞走査法の2つの解析法の検討―"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会，45-J（2014/07/04，大阪，近畿大学東大阪キャンパス）

  • 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "X線ミラー作製のためのビーム偏向制御用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会，30-G（2014/07/04，大阪，近畿大学東大阪キャンパス）

  • 佐野泰久 (invited)
    "次世代半導体基板のダメージフリー加工法"
    第33回電子材料シンポジウム(EMS-33), Extended abstracts pp.33, We2-1 (2014/07/09-11，伊豆，ラフォーレ修繕寺)

  • 下村啓，鈴木明大，広瀬真，高橋幸生
    "プリセッション測定によるマルチスライスX線タイコグラフィーの高分解能化"
    日本放射光学会第6回若手研究会　コヒーレントX線が拓く構造可視化の新しい世界（2014/08/22-23，兵庫，SACLA）

  • 鈴木明大，古宅伸，下村啓，広瀬真，山内和人，香村芳樹，石川哲也，高橋幸生
    "マルチスライス法を用いた高分解能X線タイコグラフィー"
    日本放射光学会第6回若手研究会　コヒーレントX線が拓く構造可視化の新しい世界（2014/08/22-23，兵庫，SACLA）

  • 塩澤昂祐，佐野泰久，土肥俊郎，黒河周平，會田 英雄，大山 幸希，宮下 忠一，山内 和人
    "革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第4報）；A-type装置による炭化ケイ素を加工対象とした平坦化特性の評価"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.15-16，A17（ポスターP-22）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 山口航，礒橋藍，杉浦崇仁，稻田辰昭，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "紫外光を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウム・炭化ケイ素基板の高能率平坦化加工"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.23-24，A22（ポスターP-69）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 礒橋藍，稻田辰昭，山口航，杉浦崇仁，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "触媒表面基準エッチング法における白金に代わる新規触媒の検討"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.25-26，A23（ポスターP-70）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 杉浦崇仁，礒橋藍，山口航，稻田辰昭，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "触媒表面基準エッチング法による金属酸化物材料の高能率平坦化加工"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.269-270，E35（ポスターP-71）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 平野嵩，大坂泰斗，犬伏雄一，矢橋牧名，佐野泰久，松山智至，登野健介，佐藤尭洋，小川奏，石川哲也，山内和人
    "硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発―アライメント手法の検討―"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.279-280，E44（ポスターP-45）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 西原明彦，松山智至，金章雨，長平良綾香，湯本博勝，三村秀和，小山貴久，登野健介，犬伏雄一，佐藤尭洋，片山拓也，富樫格，矢代航，佐野泰久，大橋治彦，百生敦，後藤俊治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    "位相回折格子を用いたX線レーザーナノビームの高精度波面計測"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.281-282，E45（ポスターP-60）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
    "Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製（第6報）〜静電偏向制御による数値制御加工〜"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.283-284，E46（ポスターP-52）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 栗生賢，武居弘泰，佐野泰久，松山智至，山内和人
    "高能率数値制御犠牲酸化のための多電極型大気圧プラズマ発生装置の開発"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会，アブストラクト集pp.285-286，E47（ポスターP-53）（2014/09/16-18，鳥取大学，鳥取）

  • 武居弘泰，栗生賢，松山智至，山内和人，佐野泰久
    "多電極型多気圧プラズマ発生装置を用いた数値制御犠牲酸化法の開発"
    第75回応用物理学会秋季学術講演会，講演論文集pp.08-047，19a-S8-11（2014/09/17-20，北海道大学札幌キャンパス，北海道）

  • 岡田悠，田尻光毅，佐野泰久，松山智至，山内和人
    "プラズマ発生領域制限マスクを用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) によるSiC基板のダイシングの検討"
    第75回応用物理学会秋季学術講演会，講演論文集pp.15-261，19a-PB5-4（2014/09/17-20，北海道大学札幌キャンパス，北海道）

  • 岡田悠，田尻光毅，佐野泰久，松山智至，山内和人
    "PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の薄化―加工速度の向上を目的とした電極の開発"
    先進パワー半導体分科会　第１回講演会，講演論文集pp.92，P-28（2014/11/19-20，ウインクあいち，愛知）

  • 山内和人(invited)
    "X線顕微鏡開発の最前線"
    日本物理学会大阪支部公開シンポジウム　サイエンスからテクノロジーへ　−「役に立つ物理」への出帆−（2014/12/21，大阪，大阪大学基礎工学部シグマホール