Domestic Conference

  • 山内和人(invited)
    "光を集める結晶精密加工:OSAKA-Mirrorのこれから"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.51,企画講演4-3,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 高橋幸生(invited)
    "コヒーレントX線が拓く新しい結晶学"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.52,企画講演4-5,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 松山智至,恵美陽治,木野英俊,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた結像型硬X線顕微鏡の開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.63,1D004,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 中森紘基,松山智至,後藤拓実,木村隆志,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "形状可変X線ミラーを用いた二次元集光光学系の開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.69,3D001,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 金章雨,長平良綾香,松山智至,福井亮介,西原明彦,小山貴久,湯本博勝,佐野泰久,大橋治彦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "硬X線自由電子レーザーシングルナノ集光用Pt/C多層膜の破壊特性評価"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.69,3D002,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 大坂泰斗,平野嵩,矢橋牧名,佐野泰久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,小川奏,松山智至,石川哲也,山内和人
    "XFEL用オートコリレータの開発;チャネルカット結晶内壁部の無歪み・平滑化"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.69,3D003,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "Ion Beam Figuringを用いた高精度X線集光ミラーの作製"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.73,11P009,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 西原明彦,福井亮介,松山智至,金章雨,長平良綾香,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,片山拓也,富樫格,矢代航,佐野泰久,大橋治彦,百生敦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "チェス盤回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.74,11P013,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,木村隆志,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "アダプティブ集光光学系のための高精度形状可変ミラーの開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.74,11P014,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 長平良綾香,金章雨,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "硬X線用多層膜集光ミラーの表面平滑化による反射率向上に関する研究"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.80,11P040,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 木目歩美,松山智至,福井亮介,山内和人
    "X線望遠鏡用ウォルターミラーのためのX線スローププロファイラの開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.92,11P087,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 木野英俊,松山智至,恵美陽治,岡田浩巳,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,津村尚史,石川哲也,山内和人
    "1枚の基板上に作製された1次元ウォルターミラーの開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.93,11P089,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 恵美陽治,松山智至,木野英俊,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "結像型硬X線顕微鏡のためのコンパクトなAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.94,11P093,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 高橋幸生,鈴木明大,是津信行,苙口友隆,高山裕貴,関口優希,小林周,山本雅貴,中迫雅由
    "XFELコヒーレント回折イメージングによる金属ナノ粒子の組織と粒度分布の複合解析"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.110,5C002,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 鈴木明大,古宅伸,下村啓,山内和人,香村芳樹,石川哲也,高橋幸生
    "マルチスライスアプローチを用いた高分解能X線タイコグラフィー"
    第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集pp.111,5C004,(2014 1/11-13,広島,広島国際会議場)

  • 山内和人(invited)
    "触媒基準エッチングによる炭化・窒化・酸化物結晶表面の平坦化"
    プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第131回研究会,特別講演1(2014/02/21,東京,プラザエフ)

  • 佐野泰久 (invited)
    "加工変質層を残さない超精密加工法"
    精密工学会主催 第365回講習会(2014/02/28,東京)

  • 礒橋藍,佐野泰久,岡本武志,加藤智久,山内和人
    "触媒表面エッチング法を用いた6インチ4H-SiC基板の平坦化加工"
    "Planarization of 6 inch 4H-SiC wafer by using Catalyst-referred Etching"
    第61回応用物理学会春季学術講演会,17p-E5-13(2014/03/17-20,神奈川,青山学院大学)

  • 塩澤昂祐,佐野泰久,土肥俊郎,黒河周平,會田英雄,宮下忠一,住澤春男,山内和人
    "革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作―基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性―"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会,D03(2014/03/18-20,東京,東京大学)

  • 平野嵩,大坂泰斗,矢橋牧名,佐野泰久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,小川奏,松山智至,石川哲也,山内和人
    "大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチング"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会,R33(2014/03/18-20,東京,東京大学)

  • 西原明彦,福井亮介,松山智至,金章雨,長平良綾香,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,片山拓也,富樫格,矢代航,佐野泰久,大橋治彦,百生敦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "二次元位相回折格子を用いたXFELナノビームのシングルショット波面計測"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会,予稿集pp. 88,R43(2014/03/18-20,東京,東京大学)

  • 中森紘基,後藤拓実,松山智至,木村隆志,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "圧電駆動型形状可変X線ミラーを用いたアダプティブ集光光学系の開発"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会,R45(2014/03/18-20,東京,東京大学)

  • 松山智至,恵美陽治,木野英俊,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    "Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた高分解能かつ色収差のない硬X線顕微鏡の開発"
    2014年度精密工学会春季大会学術講演会,R46(2014/03/18-20,東京,東京大学)

  • 山内和人(invited)
    "触媒表面基準エッチングによる酸化、窒化、炭化物材料の平坦化"
    第四回先進研磨技術研究会,(2014/04/18,大阪,立命館大学梅田キャンパス)

  • 山内和人 (invited)
    "原子スケールの形状精度と平滑度の実現を目指して"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会,(2014/07/04,大阪,近畿大学東大阪キャンパス)

  • 栗生賢,武居弘泰,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "高能率数値制御犠牲酸化のための多電極型大気圧プラズマ発生装置の開発"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会,31-G(2014/07/04,大阪,近畿大学東大阪キャンパス)

  • 平野嵩,大坂泰斗,犬伏雄一,矢橋牧名,佐野泰久,松山智至,登野健介,佐藤尭洋,小川奏,石川哲也,山内和人
    "硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発―χ軸回転に対する許容角度誤差の検討―"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会,43-J(2014/07/04,大阪,近畿大学東大阪キャンパス)

  • 西原明彦,松山智至,金章雨,長平良綾香,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,片山拓也,富樫格,矢代航,佐野泰久,大橋治彦,百生敦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "位相回折格子を用いたX線レーザナノビームの波面計測法の研究―フーリエ変換法と縞走査法の2つの解析法の検討―"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会,45-J(2014/07/04,大阪,近畿大学東大阪キャンパス)

  • 山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "X線ミラー作製のためのビーム偏向制御用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発"
    精密工学会関西支部2014年度関西地方定期学術講演会,30-G(2014/07/04,大阪,近畿大学東大阪キャンパス)

  • 佐野泰久 (invited)
    "次世代半導体基板のダメージフリー加工法"
    第33回電子材料シンポジウム(EMS-33), Extended abstracts pp.33, We2-1 (2014/07/09-11,伊豆,ラフォーレ修繕寺)

  • 下村啓,鈴木明大,広瀬真,高橋幸生
    "プリセッション測定によるマルチスライスX線タイコグラフィーの高分解能化"
    日本放射光学会第6回若手研究会 コヒーレントX線が拓く構造可視化の新しい世界(2014/08/22-23,兵庫,SACLA)

  • 鈴木明大,古宅伸,下村啓,広瀬真,山内和人,香村芳樹,石川哲也,高橋幸生
    "マルチスライス法を用いた高分解能X線タイコグラフィー"
    日本放射光学会第6回若手研究会 コヒーレントX線が拓く構造可視化の新しい世界(2014/08/22-23,兵庫,SACLA)

  • 塩澤昂祐,佐野泰久,土肥俊郎,黒河周平,會田 英雄,大山 幸希,宮下 忠一,山内 和人
    "革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第4報);A-type装置による炭化ケイ素を加工対象とした平坦化特性の評価"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.15-16,A17(ポスターP-22)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 山口航,礒橋藍,杉浦崇仁,稻田辰昭,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "紫外光を援用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウム・炭化ケイ素基板の高能率平坦化加工"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.23-24,A22(ポスターP-69)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 礒橋藍,稻田辰昭,山口航,杉浦崇仁,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "触媒表面基準エッチング法における白金に代わる新規触媒の検討"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.25-26,A23(ポスターP-70)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 杉浦崇仁,礒橋藍,山口航,稻田辰昭,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "触媒表面基準エッチング法による金属酸化物材料の高能率平坦化加工"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.269-270,E35(ポスターP-71)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 平野嵩,大坂泰斗,犬伏雄一,矢橋牧名,佐野泰久,松山智至,登野健介,佐藤尭洋,小川奏,石川哲也,山内和人
    "硬X線自由電子レーザー用オートコリレータの開発―アライメント手法の検討―"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.279-280,E44(ポスターP-45)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 西原明彦,松山智至,金章雨,長平良綾香,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,片山拓也,富樫格,矢代航,佐野泰久,大橋治彦,百生敦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    "位相回折格子を用いたX線レーザーナノビームの高精度波面計測"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.281-282,E45(ポスターP-60)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 山田純平,松山智至,佐野泰久,山内和人
    "Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製(第6報)〜静電偏向制御による数値制御加工〜"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.283-284,E46(ポスターP-52)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 栗生賢,武居弘泰,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "高能率数値制御犠牲酸化のための多電極型大気圧プラズマ発生装置の開発"
    2014年度精密工学会秋季大会学術講演会,アブストラクト集pp.285-286,E47(ポスターP-53)(2014/09/16-18,鳥取大学,鳥取)

  • 武居弘泰,栗生賢,松山智至,山内和人,佐野泰久
    "多電極型多気圧プラズマ発生装置を用いた数値制御犠牲酸化法の開発"
    第75回応用物理学会秋季学術講演会,講演論文集pp.08-047,19a-S8-11(2014/09/17-20,北海道大学札幌キャンパス,北海道)

  • 岡田悠,田尻光毅,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "プラズマ発生領域制限マスクを用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) によるSiC基板のダイシングの検討"
    第75回応用物理学会秋季学術講演会,講演論文集pp.15-261,19a-PB5-4(2014/09/17-20,北海道大学札幌キャンパス,北海道)

  • 岡田悠,田尻光毅,佐野泰久,松山智至,山内和人
    "PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の薄化―加工速度の向上を目的とした電極の開発"
    先進パワー半導体分科会 第1回講演会,講演論文集pp.92,P-28(2014/11/19-20,ウインクあいち,愛知)

  • 山内和人(invited)
    "X線顕微鏡開発の最前線"
    日本物理学会大阪支部公開シンポジウム サイエンスからテクノロジーへ −「役に立つ物理」への出帆−(2014/12/21,大阪,大阪大学基礎工学部シグマホール