Domestic Conference

  • 松山智至
    全反射X線ミラーを用いたX線自由電子レーザーのナノ集光
    第5回「文部科学省 最先端の光の創成を目指したネットワーク研究拠点プログラム」シンポジウム,(2013 1/11,東京)

  • 山内和人
    コヒーレントX線による走査透過X線顕微鏡システムの構築と分析科学への応用
    第5回「文部科学省 最先端の光の創成を目指したネットワーク研究拠点プログラム」シンポジウム,(2013 1/11,東京)

  • 福井亮介,松山智至,金章雨,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,片山哲夫,富樫格,矢代航,佐野泰久,大橋治彦,百生敦,後藤俊治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    X線回折格子を用いたXFELナノビームのワンショット波面計測
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p65 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 松山智至,岡田浩巳,恵美陽治,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,津村尚史,石川哲也,山内和人
    1枚の基板上に作製された1次元Wolterミラーの開発
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p89 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 恵美陽治,松山智至,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた色収差のない結像型硬X線顕微鏡の開発
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p90 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 鈴木明大,古宅伸,山内和人,香村芳樹,石川哲也,高橋幸生
    フォーカスビームとデフォーカスビームを相補利用するマルチモードX線タイコグラフィー
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p106 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 古宅伸,鈴木明大,山内和人,香村芳樹,石川哲也,高橋幸生
    ブラッグ回折を利用したX線タイコグラフィーによるSi薄膜の歪み分布の観察
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p107 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 中森紘基,松山智至,今井将太,木村隆志,佐野泰久,香村芳樹,玉作賢治,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    アダプティブ集光光学系のための高精度形状可変ミラーの開発
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p115 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 金章雨, 福井亮介, 松山智至, 小山貴久, 湯本博勝, 佐野泰久, 大橋治彦, 後藤俊治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    X線自由電子レーザー集光用Pt/C多層膜の性能評価
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p116 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 大坂泰斗,矢橋牧名,佐野泰久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,松山智至,石川哲也,山内和人
    XFEL用オートコリレータの開発:Si(220)ビームスプリッタの作製
    第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,予稿集p116 (2013 1/12-1/14,愛知,名古屋)

  • 佐野泰久(invited)
    CAREによるワイドバンドギャップ材料のナノレベル平坦化メカニズム
    日本表面科学会 第74回表面科学研究会 平成24年度中部表面科学シンポジウム,(2013 1/26,愛知,名古屋)

  • 山内和人(invited)
    XFELの高精度集光鏡の開発
    レーザー学会年次大会,(2013 1/28-1/30,兵庫,姫路)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,今井将太,木村隆志,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    大変形可能な硬X線集光用形状可変ミラーの開発―シミュレーションによる設計指針の検討―
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会,C64,アブスト集P. 15 (2013 3/13-3/15,東京,東京工業大学)

  • 松山智至,北村真一,佐野泰久,山内和人
    Ion Beam Figuringを用いた高精度X線ミラーの作製 第5報−X線集光ミラーの作製−
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会,C67,アブスト集P. 14 (2013 3/13-3/15,東京,東京工業大学)

  • 岡田悠,西川央明,佐野泰久,山村和也,松山智至,山内和人
    PCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の全面加工
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会,C69,アブスト集P. 14 (2013 3/13-3/15,東京,東京工業大学)

  • 佐野泰久,土肥俊郎,黒河周平,會田英雄,大西修,敏田道雄,岡田悠,西川央明,山内和人
    先端的難加工基板の高能率精密加工法の研究(第2報)−擬似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大−
    2013年度精密工学会春季大会学術講演会,J34,アブスト集P. 45(2013/03/13-15,東京,東京工業大学)

  • 佐野泰久 (invited),定國峻,浅野博弥,八木圭太,有馬健太,山内和人
    触媒表面反応を利用した新しい研磨法によるGaN基板表面の平坦化
    IIP2013 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会,I-2-1(2013/03/21-22,東京)

  • 大坂泰斗,佐藤尭洋,佐野泰久,登野健介,犬伏雄一,矢橋牧名,松山智至,石川哲也,山内和人
    ビームスプリッタを利用したその場XFELタイミングジッター計測システムの開発
    第60会応用物理学会春季学術講演会,28p-B1-8 (2013 3/27-3/30,東京,神奈川工科大学)

  • 高橋幸生(invited)
    コヒーレントX線回折イメージングの現状と将来展望
    日本顕微鏡学会第69回学術講演会,S6-D20am03(2013 5/20-5/22,大阪,吹田,ホテル阪急エキスポパーク)

  • 長平良綾香,金章雨,松山智至,佐野泰久,山内和人
    硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会,11-C(2013/06/14,大阪,大阪工業大学)

  • 山口航,定國峻,礒橋藍,浅野博弥,岡本武志,佐野泰久,山内和人
    触媒表面基準エッチング法による機能性酸化物の平坦化加工
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会,37-G(2013/06/14,大阪,大阪工業大学)

  • 岡田悠,西川央明,佐野泰久,山村和也,松山智至,山内和人
    PCVM (Plasama Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の裏面薄化
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会,38-G(2013/06/14,大阪,大阪工業大学)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,今井将太,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    ペンシルビームを用いた形状可変ミラーin-situ形状計測法の開発
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会,45-J(2013/06/14,大阪,大阪工業大学)

  • 木目歩美,松山智至,福井亮介,山内和人
    X線望遠鏡用ウォルターミラーのためのX線スローププロファイラの開発
    精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会,48-J(2013/06/14,大阪,大阪工業大学

  • 山内和人(invited)
    放射光X線のナノ集光技術とその応用
    2013年度精密工学会秋季学術講演会シンポジウム「光を用いた内部非破壊計測」,(2013/09/12,大阪,関西大学)

  • 塩澤昂祐,佐野泰久,土肥俊郎,黒河周平,會田英雄,大西修,畝田道雄,岡田悠,山内和人
    先端的難加工材料基板の高能率精密加工法の研究(第4報);加工変質層の断面TEMによる評価とそのPCVM加工特性
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,Q06(ポスター P-103)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 礒橋藍,佐野泰久,定國峻,山内和人
    純水を用いた化学エッチングによる4H-SiC基板の平坦化加工
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,Q08(ポスター P-1)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 恵美陽治,松山智至,木野英俊,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた結像型硬X線顕微鏡の開発
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L30(ポスター P-47)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 中森紘基,後藤拓実,松山智至,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    硬X線集光用形状可変ミラーの開発-変形最適化手法の検討-
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L31(ポスター P-53)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 後藤拓実,中森紘基,松山智至,佐野泰久,香村芳樹,石川哲也,山内和人
    形状可変ミラーを用いた光学パラメータ可変な硬X線集光光学系の開発-ペンシルビーム法による形状可変ミラーのin-situ形状修正-
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L32(ポスター P-113)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 大坂泰斗,平野嵩,矢橋牧名,佐野泰久,登野健介,犬伏雄一,佐藤尭洋,小川奏,松山智至,石川哲也,山内和人
    大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチングの検討
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L33(ポスター P-71)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 長平良綾香,金章雨,松山智至,佐野泰久,山内和人
    硬X線用多層膜集光ミラーの反射率向上に関する研究
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L36(ポスター P-13)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 金章雨,長平良綾香,小山貴久,湯本博勝,松山智至,佐野泰久,矢橋牧名,大橋治彦,石川哲也,山内和人
    X線自由電子レーザーを用いた硬X線集光用Pt/C多層膜の特性評価
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L37(ポスター P-36)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 福井亮介,松山智至,金章雨,湯本博勝,三村秀和,小山貴久,百生敦,大橋治彦,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    X線回折格子を用いたX線自由電子レーザーのシングルショット波面計測
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L38(ポスター P-146)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 木目歩美,松山智至,福井亮介,山内和人
    X線望遠鏡用WolterミラーのためのX線スローププロファイラの開発-幾何光学と波動光学シミュレーションによる検討-
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L43(ポスター P-22)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 山口航,定國峻,礒橋藍,浅野博弥,佐野泰久,山内和人
    触媒表面基準エッチング法による機能性材料の平坦化加工
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L67(ポスター P-153)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 武居弘泰,佐野泰久,松山智至,山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法によるSi薄膜膜圧均一化加工法の精度向上
    2013年度精密工学会秋季大会学術講演会,L70(ポスター P-57)(2013/09/12-14,大阪,関西大学)

  • 金章雨(invited),長平良綾香,松山智至,福井亮介,西原明彦,小山貴久,湯本博勝,佐野泰久,矢橋牧名,大橋治彦,石川哲也,山内和人
    硬X線ナノ集光ミラー用Pt/C多層膜の作製と評価
    X線ナノ集光技術研究会2013,予稿集pp. 19-20(2013/11/17,大阪,中ノ島センター)

  • 山内和人(invited),佐野泰久,有馬健太
    触媒表面基準エッチング (Catalyst reffered etching) による単結晶SiC,GaN,ZnOの原子スケール平坦化
    2013年真空・表面科学学術講演会,受賞講演(2013/11/26-28,茨城,つくば国際会議場)

  • 岡田悠,西川央明,佐野泰久,山村和也,松山智至,山内和人
    スリット電極を用いたPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining) による2インチSiC基板の裏面薄化
    SiC及び関連半導体研究第22回講演会,予稿集pp. 138, 139,B-11(2013/12/09-10,埼玉,埼玉会館)

  • 礒橋藍,佐野泰久,定國峻,山内和人
    純水のみを用いた触媒表面基準エッチング法による4H-SiC基板の平坦化
    SiC及び関連半導体研究第22回講演会,C-12(2013/12/09-10,埼玉,埼玉会館)