Domestic Conference

2015年 2014年 2013年 2011年 2010年 2009年 2008年 2007年 2006年 2005〜2003年
  • 森 勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 遠藤勝義, 有馬健太,　稲垣耕司
    EEM(Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の修正
    精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 29-30 (2003).

  • 柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第2報―
    2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 330-330 (2003).

  • 森　勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 稲垣耕司, 有馬健太, 遠藤勝義
    EEM(Elastic Emission Machining)による表面広空間波長帯域の形状/粗さ修正
    2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 334-334 (2003).

  • 森　勇藏, 佐野泰久, 山村和也
    数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの超薄膜化
    第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 766-766 (2003).

  • 柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第3 報―
    2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1101-1102 (2004).

  • 松山智至, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 湯本博勝, 遠藤勝義, 玉作賢治, 矢橋牧名, 西野吉則, 石川哲也, 森　勇藏
    走査型Ｘ線顕微鏡のための楕円体ミラーを用いた二次元集光ユニットの開発
    第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 747-747 (2004)

  • 掛谷悟史，稲垣耕司，山村和也，佐野泰久，広瀬喜久治，遠藤勝義
    第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索
    日本物理学会講演概要集，59-1，899-899, (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
    硬X線ナノ集光のための高精度楕円体ミラーの作製と集光特性の評価
    第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 602 (2004).

  • 松山智至，山内和人，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
    ミラー集光系を用いたX線顕微鏡(ナノスコピー)の開発
    第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 605 (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
    高精度Ｘ線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
    精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 95-96 (2004).

  • 一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人，八木圭太，半田宗一郎
    超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する触媒電極の開発―
    精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 17-18 (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
    干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測 ―高精度スティッチング法の開発―
    2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 185-186 (2004).

  • 加藤　潤, 久保田章亀, 有馬健太, 山村和也, 山内和人, 遠藤勝義, 森　勇藏
    STM によるSi(011),(111)ウエハ超精密加工表面の原子構造観察
    2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 617-618 (2004).

  • 久保田章亀, 三村秀和, 稲垣耕司, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人, 森　勇藏
    EEM (Elastic Emission Machining)によるSiC 表面の平坦化
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1265-1266 (2005).

  • 柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 佐野泰久, 杉山　剛
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工（第5報）
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1267-1268 (2005).

  • 三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 原　英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1271-1272 (2005).

  • 松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線CT顕微鏡の開発
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　106 (2005).

  • 三村秀和，松山智至，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    高精度非球面全反射ミラーによる硬X線の回折限界集光
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　143 (2005).

  • 湯本博勝，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    干渉計を用いた高精度表面形状計測法の開発と硬X線集光ミラーへの適応
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集 209 (2005).

  • 原　英之、佐野泰久、三村秀和、山内和人
    触媒を援用した化学ポリッシング法によるSiCの加工
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 337-338, (2005).

  • 湯本博勝、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏、石川哲也、山内和人
    硬X線ナノ集光ミラーの形状計測‐高精度スティッチング法の開発‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 453-454, (2005).

  • 山本雄介、柴原正文、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第6報)‐パイプ電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 525-526, (2005).

  • 柴原正文、山本雄介、滝　賢介、山村和也、佐野泰久、田中良明、結城広昭、村上資郎、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第7報)‐PCVM加工面に作製した水晶振動子のデバイス特性評価‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 527-528, (2005).

  • 渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによるSiCの加工特性
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 529-530, (2005).

  • 藤原明大、上野浩司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    数値制御プラズマCVMによるEUVLマスク基板の平坦化(第1報)‐石英ガラスの加工特性‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532, (2005).

  • 加藤邦仁、伊藤公人、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    大気圧プラズマを用いた航空間分解能加工プロセスの開発‐シリコンの加工特性‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534, (2005).

  • 大道朱里、三村秀和、久保田亀章、山内和人、森　勇藏
    ＥＥＭの表面創成機構に関する研究-超純水および溶存酸素がSi(100)表面に与える影響-
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 537-538, (2005).

  • 増谷宗彦、森田健一、森　勇藏、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
    超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のCu汚染の洗浄効果‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 547-548, (2005).

  • 森田健一、澤井康二、後藤英和、山内和人、遠藤勝義、森　勇藏
    超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のDOP汚染の洗浄‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 549-550, (2005)..

  • 加藤　潤、久保田章亀、有馬健太、山村和也、森　勇藏、山内和人、遠藤勝義
    STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 779-780, (2005).

  • 石田剛志、有馬健太、佐野泰久、山村和也、森　勇藏、遠藤勝義
    大気圧プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)加工をいった4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 783-784, (2005).

  • 村田順二、一井愛雄、森勇藏、広瀬喜久治、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
    水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G21, (2005).

  • 柴原正文、稲垣官司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    大気圧プラズマ処理によるPETシートの表面改質
    表面技術協会第112回講演大会要旨集, 263-264 (2005).

  • 一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人
    表面修飾電極を用いた超純水中での電気化学加工法
    電気化学会第72回大会講演要旨集, 384, (2005).

  • 原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人
    触媒作用を援用した化学ポリシング法による4H-SiC(0001)の加工
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 59-60 (2005).

  • 渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森勇藏
    プラズマCVMによるSiCの加工特性
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 57-58, (2005).