Domestic Conference

2017年 2016年 2015年 2014年 2013年 2011年 2010年 2009年 2008年 2007〜2003年
  • 森 勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 遠藤勝義, 有馬健太,　稲垣耕司
    EEM(Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の修正
    精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 29-30 (2003).

  • 柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第2報―
    2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 330-330 (2003).

  • 森　勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 稲垣耕司, 有馬健太, 遠藤勝義
    EEM(Elastic Emission Machining)による表面広空間波長帯域の形状/粗さ修正
    2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 334-334 (2003).

  • 森　勇藏, 佐野泰久, 山村和也
    数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの超薄膜化
    第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 766-766 (2003).

  • 柴原正文, 真鍋元保, 松井　博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山　剛, 遠藤勝義, 森　勇蔵
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第3 報―
    2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1101-1102 (2004).

  • 松山智至, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 湯本博勝, 遠藤勝義, 玉作賢治, 矢橋牧名, 西野吉則, 石川哲也, 森　勇藏
    走査型Ｘ線顕微鏡のための楕円体ミラーを用いた二次元集光ユニットの開発
    第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 747-747 (2004)

  • 掛谷悟史，稲垣耕司，山村和也，佐野泰久，広瀬喜久治，遠藤勝義
    第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索
    日本物理学会講演概要集，59-1，899-899, (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
    硬X線ナノ集光のための高精度楕円体ミラーの作製と集光特性の評価
    第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 602 (2004).

  • 松山智至，山内和人，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森　勇藏
    ミラー集光系を用いたX線顕微鏡(ナノスコピー)の開発
    第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 605 (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
    高精度Ｘ線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
    精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 95-96 (2004).

  • 一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人，八木圭太，半田宗一郎
    超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する触媒電極の開発―
    精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 17-18 (2004).

  • 湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森　勇藏
    干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測 ―高精度スティッチング法の開発―
    2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 185-186 (2004).

  • 加藤　潤, 久保田章亀, 有馬健太, 山村和也, 山内和人, 遠藤勝義, 森　勇藏
    STM によるSi(011),(111)ウエハ超精密加工表面の原子構造観察
    2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 617-618 (2004).

  • 久保田章亀, 三村秀和, 稲垣耕司, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人, 森　勇藏
    EEM (Elastic Emission Machining)によるSiC 表面の平坦化
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1265-1266 (2005).

  • 柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 佐野泰久, 杉山　剛
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工（第5報）
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1267-1268 (2005).

  • 三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 原　英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価
    2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1271-1272 (2005).

  • 松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線CT顕微鏡の開発
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　106 (2005).

  • 三村秀和，松山智至，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    高精度非球面全反射ミラーによる硬X線の回折限界集光
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集　143 (2005).

  • 湯本博勝，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    干渉計を用いた高精度表面形状計測法の開発と硬X線集光ミラーへの適応
    第18回日本放射光学会　シンポジウム論文集 209 (2005).

  • 原　英之、佐野泰久、三村秀和、山内和人
    触媒を援用した化学ポリッシング法によるSiCの加工
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 337-338, (2005).

  • 湯本博勝、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏、石川哲也、山内和人
    硬X線ナノ集光ミラーの形状計測‐高精度スティッチング法の開発‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 453-454, (2005).

  • 山本雄介、柴原正文、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第6報)‐パイプ電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 525-526, (2005).

  • 柴原正文、山本雄介、滝　賢介、山村和也、佐野泰久、田中良明、結城広昭、村上資郎、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第7報)‐PCVM加工面に作製した水晶振動子のデバイス特性評価‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 527-528, (2005).

  • 渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森　勇藏
    プラズマCVMによるSiCの加工特性
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 529-530, (2005).

  • 藤原明大、上野浩司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    数値制御プラズマCVMによるEUVLマスク基板の平坦化(第1報)‐石英ガラスの加工特性‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532, (2005).

  • 加藤邦仁、伊藤公人、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    大気圧プラズマを用いた航空間分解能加工プロセスの開発‐シリコンの加工特性‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534, (2005).

  • 大道朱里、三村秀和、久保田亀章、山内和人、森　勇藏
    ＥＥＭの表面創成機構に関する研究-超純水および溶存酸素がSi(100)表面に与える影響-
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 537-538, (2005).

  • 増谷宗彦、森田健一、森　勇藏、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
    超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のCu汚染の洗浄効果‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 547-548, (2005).

  • 森田健一、澤井康二、後藤英和、山内和人、遠藤勝義、森　勇藏
    超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のDOP汚染の洗浄‐
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 549-550, (2005)..

  • 加藤　潤、久保田章亀、有馬健太、山村和也、森　勇藏、山内和人、遠藤勝義
    STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 779-780, (2005).

  • 石田剛志、有馬健太、佐野泰久、山村和也、森　勇藏、遠藤勝義
    大気圧プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)加工をいった4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 783-784, (2005).

  • 村田順二、一井愛雄、森勇藏、広瀬喜久治、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
    水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究
    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G21, (2005).

  • 柴原正文、稲垣官司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森　勇藏
    大気圧プラズマ処理によるPETシートの表面改質
    表面技術協会第112回講演大会要旨集, 263-264 (2005).

  • 一井愛雄，森　勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人
    表面修飾電極を用いた超純水中での電気化学加工法
    電気化学会第72回大会講演要旨集, 384, (2005).

  • 原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人
    触媒作用を援用した化学ポリシング法による4H-SiC(0001)の加工
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 59-60 (2005).

  • 渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森勇藏
    プラズマCVMによるSiCの加工特性
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 57-58, (2005).

  • 鐘築律夫, 中濱康治, 舩木　毅, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏
    プラズマCVMによるGaNの加工（第1報）−塩素プラズマによる加工−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 423-424, (2006).

  • 舩木　毅, 中濱康治, 鐘築律夫, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏
    プラズマCVMによるGaNの加工（第2報）−カソードルミネッセンスによる加工面の評価−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 425-426, (2006).

  • 柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森　勇藏, 山本雄介, 滝　賢介, 佐野泰久
    プラズマＣＶＭによる超高周波水晶振動子の加工（第8報）−大気開放型PCVM加工装置の開発−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 427-428, (2006).

  • 藤原明大, 上野浩司, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森　勇藏
    数値制御プラズマCVMによるEUVL用マスク基板の平坦化 −加工装置および加工条件の改良による平坦度の向上−
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 429-430, (2006).

  • 松山智至，三村秀和，湯本博勝，原英之，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発
    第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　シンポジウム論文集, 57 (2006).

  • 湯本博勝、半田宗一郎、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森勇藏、 西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    位相回復法にもとづく全反射ミラー表面形状計測
    第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム　シンポジウム論文集, 114 (2006).

  • 三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也，山内和人
    超高精度X線ミラーの作製とコヒーレントX線による評価,
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 233-234 (2006).

  • 原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 竹川雄也，山内和人,
    触媒を援用した化学ポリシング法による4H-SiCの加工（第2報）-加工速度の検討-
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 557-558 (2006).

  • 原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人,
    触媒作用を援用した基準形状転写エッチング法によるSiCの平坦化
    2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集，417-417 (2006). .

  • 片岸恵子，松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森　勇蔵，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
    2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2　P811(2006).

  • 石田剛志，有馬健太，原英之，山村和也，山内和人，遠藤勝義
    新規な研磨加工を行った4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
    2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1115-1116 (2006).

  • 一井愛雄、後藤英和
    低環境負荷型電気化学加工法の開発―単結晶シリコン(001)表面の形状パターニング―
    電気化学会第73回大会 講演要旨集P.311(2006).

  • 増田隆哉、佐野泰久、三村秀和、山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化によるSOI膜厚の均一化
    2006年度精密工学会関西支部　講演論文集、83-84(2006)

  • 三村秀和
    KBミラー光学系による硬Ｘ線の回折限界ナノ集光
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 2006年応用物理学会論文賞（奨励賞）受賞講演

  • 原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
    Mo触媒を利用した触媒基準エッチング法によるSiCの平坦化
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集，373-373 (2006).

  • 有馬健太 ，原　英之,　佐野泰久, 三村秀和,　石田剛志，八木圭太 ，久保田章亀，山内和人
    湿式環境下で作製した4H-SiC(0001)1×1表面のSTMによる原子像観察
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集，368-368 (2006).

  • 片岸恵子，松山智至，志村まり，三村秀和，湯本博勝，半田宗一郎，芝谷昭彦，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
    2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集, 1183-1183 (2006).

  • 三村秀和, 湯本博勝, 半田宗一郎，松山智至，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    At-wavelength形状計測法による硬X線ナノ集光鏡の開発
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 207-208 (2006).

  • 原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第3報）―モリブデン触媒の検討―
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532 (2006).

  • 村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法によるGaNの加工
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534 (2006).

  • 岡本亮太・有馬健太・佐野泰久・原　英之・石田剛志・八木圭太・山内和人・遠藤勝義
    湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 539-540 (2006).

  • 久保田章亀，八木圭太，安井平司，山内和人
    触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究　―焼結SiC表面研磨の試み―
    2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 253-254 (2006).

  • 原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法によるSiC平坦化における代替触媒の評価
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 110-111 (2006).

  • 村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法によるGaNの加工
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 112-113 (2006).

  • 岡本亮太，有馬健太，佐野泰久，原　英之，石田剛志，八木圭太，久保田章亀，三村秀和，山内和人
    湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 104-105 (2006).

  • 湯本博勝、三村秀和、松山智至、半田宗一郎、木村隆志、井阪貴男、佐野泰久、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    硬X線集光ミラーのための波面誤差評価法の開発
    第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 13P037p69, (2007).

  • 原　英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和,　山内和人
    触媒基準エッチング法による2インチ４H-SiCウエハの平坦化
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 433, (2007).

  • 村田順二、久保田章亀、八木圭太、佐野泰久、原　英之、有馬健太、三村秀和、山内和人
    触媒基準エッチング法によるGaN基板の平坦化加工
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 1486, (2007).

  • 有馬健太，岡本亮太，原英之，佐野泰久，三村秀和，八木圭太，久保田章亀，山内和人
    触媒基準エッチング法により平坦化した4H-SiC(0001)表面不動態化構造の原子レベル解析
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 433, (2007).

  • 片岸恵子、松山智至、三村秀和、湯本博勝、佐野泰久、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素の高感度観察
    第20回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 133, (2007).

  • 山内和人(Invited)
    「硬Ｘ線ナノビームの形成」
    高エネルギー物理学研究機構 放射光セミナー

  • 古川隼人、高橋幸生、久保英人、山内和人、石川哲也、松原英一郎
    コヒーレントＸ線回折顕微法による物質構造変化の動画化に向けた基礎研究
    日本金属学会秋期大会, 岐阜大学, 466, (2007).

  • 久保英人、高橋幸生, 古川隼人、西野吉則, 山内和人、石川哲也、松原英一郎
    元素識別コヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    日本金属学会秋期大会, 岐阜大学, 466, (2007).

  • 高橋幸生, 西野吉則, 古川隼人、久保英人、山内和人、松原英一郎、石川哲也
    コヒーレントＸ線回折顕微法の空間分解能向上のための新たな試み
    日本金属学会秋期大会, 岐阜大学, 423, (2007).

  • 岡本武志，佐野泰久，原　英之，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和，山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた2インチ4H-SiCウェハの平坦化加工
    精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会　講演論文集，23 (2007).

  • 加藤武寛，佐野泰久，三村秀和，原英之，山内和人
    PCVM（Plasma Chemical Vaporization Machining）を用いたSiCウエハーのベベル加工の検討
    精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会講演論文集,21-22(2007)

  • 木村隆志、三村秀和、松山智至、湯本博勝、半田宗一郎、佐野泰久、山内和人
    硬Ｘ線集光光学系における波面補正法の開発
    精密工学会２００７年度関西地方定期学術講演会講演論文集、97-98(2007)

  • 加藤武寛，佐野泰久，原　英之，三村秀和，山村和也，山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハのベベル加工
    第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集,411,(2007)

  • 岡本武志，佐野泰久，原　英之，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和，山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた2インチ4H-SiC(0001)の平坦化加工
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会予稿集, 410 (2007).

  • 増田隆哉　佐野泰久　三村秀和　山内和人
    数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化によるSOIウエハの均一化
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, ポスターセッション　6a-P10-1 (2007).

  • 芝谷昭彦，三村秀和，石倉寛之，佐野泰久，山内和人
    反射型工学素子作製のためのナノ精度表面転写法の開発
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, 5p-W-10 (2007).

  • 片岸恵子，松山智至, 志村まり，三村秀和，湯本博勝,半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    クライオ走査型蛍光X線顕微鏡による急速凍結された細胞の元素分布測定
    2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会, 6p-A-20 (2007).

  • 原 英之, 佐野泰久, 岡本武志，有馬健太，八木圭太，村田順二，三村秀和, 山内和人
    触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第4報）―2インチウエハの平坦化―
    2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 1001-1002 (2007).

  • 三村秀和
    超高精度Ｘ線ミラーの作製とその応用
    第62回　物理学会秋季大会　シンポジウム基調講演.

  • 山内和人
    硬X線Sub-10nmビームの形成と顕微鏡システムの構築
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).(invited)

  • 半田宗一郎、三村秀和、湯本博勝、木村隆志、松山智至、佐野泰久、玉作賢治、西野吉則、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
    波面補正による理想的な硬X 線ナノビーム形成
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).

  • 芝谷昭彦、三村秀和、石倉寛之、佐野泰久、山内和人
    反射型光学素子作製のためのナノ精度表面形状転写プロセスの構築
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).

  • 古川隼人、高橋幸生、久保英人、西野吉則、山内和人、石川哲也、松原英一郎
    コヒーレントX線回折顕微法による金属材料のナノ組織解析
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム、中部大学、89、(2007).

  • 久保英人、高橋幸生、古川隼人、西野吉則、山内和人、石川哲也、松原英一郎
    X線異常散乱現象を利用したコヒーレントＸ線回折顕微法の開発
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム、中部大学、91、(2007).

  • 藤井正輝，松山智至, 志村まり，三村秀和，前島一博，片岸恵子，湯本博勝, 半田宗一郎,木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    走査型蛍光X線顕微鏡による細胞内元素分布の測定
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム、中部大学、(2007).

  • 原 英之, 森川良忠，佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，岡本武志，三村秀和, 山内和人
    4H-SiC(0001)表面におけるステップ構造生成機構の考察―表面エネルギーの第一原理分子動力学計算―
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第16回講演会予稿集, 31-32 (2007).

  • 加藤武寛，佐野泰久，堀勉，原　英之，山村和也，三村秀和，勝山義昭，山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiCウエハの薄化
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第16回講演会予稿集, 29-30 (2007).

  • 村田順二、八木圭太、佐野泰久、原英之、有馬健太、岡本武志、三村秀和、山内和人
    光照射援用型化学研磨法によるGaN基板平坦化加工
    SiC関連ワイドギャップ半導体研究会講演会　第16回講演会予稿集、69-70(2007)

  • 岡本武志、佐野泰久、原英之、有馬健太、八木圭太、村田順二、三村秀和、山内和人
    触媒基準エッチング法を用いた4H-SiC(0001)8°offウェハの平坦化加工
    SiC関連ワイドギャップ半導体研究会講演会　第16回講演会予稿集、33-34(2007)

  • 木村隆志、大橋治彦、三村秀和、山川大輔、津村尚史、岡田浩巳、増永竜彦、仙波泰徳、後藤俊治、石川哲也、山内和人
    大型Ｘ線ミラーの高精度形状計測法の開発
    第９回X線結像光学シンポジウムプログラム予稿集、95-96(2007)

  • 山川大輔，三村秀和，木村隆志，松山智至，湯本博勝，佐野泰久，玉作賢治，西野吉則，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
    ミラーを用いたX 線集光における長時間集光状態維持システムの開発
    第9回Ｘ線結像光学シンポジウム，(2007).

  • Elastic emission machining for fabrication of extreme ultraviolet optical elements
    金岡政彦，三村秀和，山内和人，森勇藏，劉長嶺，野村和司，安藤学，瀧野日出雄，福田惠明
    NGL2007 次世代リソグラフィーワークショップ予稿集, 97-100，(2007)