Domestic Conference
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三村秀和
高精度X線ミラーの作製とナノビーム応用
第22回放射光学会年会、放射光科学合同シンポジウム 予稿集 37
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半田宗一郎,木村隆志,三村秀和,湯本博勝,松山智至,佐野泰久,玉作賢治,西野吉則,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
硬X線微小集光用多層膜ミラーの開発
第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 11P018 P.74 (2009)
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木村隆志, 半田宗一郎、三村秀和, 湯本博勝, 山川大輔, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治、西野吉則、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
硬X線ナノビーム用波面補正ミラーの開発
第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム (2009/1/9-12 東京大学) シンポジウム予稿集 pp.74
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古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎
コヒーレントX線回折顕微法によるエレクトロマイグレーションボイドの生成過程のその場観察
第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 12P100 P.132
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久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎
コヒーレントX線回折顕微法によるナノ構造物の電子密度分布定量評価法の開発
第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 12P101 P.133 ポスター賞受賞
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藤井正輝, 松山智至, 三村秀和, 脇岡敏之, 半田宗一郎, 木村隆志, 佐野泰久, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
Advanced Kirkpatrick-Baez ミラー光学系の開発
第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(JSR09), 12P108, (2009)
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山川大輔、三村秀和、木村隆志、松山智至、佐野泰久、玉作賢治、西野吉則、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
フレネルミラーを用いたX線の可干渉性の評価
第22回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 11P020 p74
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堤良輔, 高橋幸生, 三村秀和, 西野吉則, 古川隼人, 久保英人, 石川哲也, 山内和人
K-Bミラー集光コヒーレントX線回折顕微法の検討
第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 12P102 P.133
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三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面転写法の開発
2009年度精密工学会春季大会 講演会講演論文集 263-264
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原 英之,佐野泰久,森川良忠,岡本武志,八木圭太,村田順二,定国 峻, 有馬健太,山内和人
触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工(第5報)―加工原理の考察―
2009年度精密工学会春季大会 講演会講演論文集 1011-1012
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村田順二,定国 峻,八木圭太,佐野泰久,原 英之,有馬健太,岡本武志,三村秀和,山内和人
光電気化学プロセスおよび固体酸触媒を利用したGaN表面平坦化技術の開発
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会
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岡本武志,佐野泰久,原 英之,畑山智亮,有馬健太,八木圭太,村田順二,三村秀和,冬木隆,山内和人
触媒基準エッチング法による4H-SiC 8°offウェハの平坦化加工
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,445 (2009).
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定国 峻,村田順二,八木圭太,佐野泰久,原 英之,有馬健太,岡本武志,三村秀和,山内和人
研磨起因欠陥を有するGaN基板表面の光電気化学エッチング
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,1448 (2009).
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三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
多孔質裏打ち電鋳法による高精度光学素子の作製
第119回表面技術協会講演大会 予稿集 164
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三村秀和
ナノ精度表面創成プロセスの開発とその応用
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 139-140
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木村隆志、半田宗一郎、山川大輔、湯本博勝、三村秀和、松山智至、佐野泰久、石川哲也、山内和人
硬X線用高精度波面制御システムの開発
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 147-148
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半田宗一郎、木村隆志、山川大輔、湯本博勝、三村秀和、松山智至、佐野泰久、石川哲也、山内和人
Pt/C多層膜集光ミラーによる硬X線Sub-10nm集光
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 149-150
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山川大輔、木村隆志、八須洋輔、大森整、山内和人
XFEL集光システムの開発
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 155-156
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三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築-多孔質内部への電析条件の検討―
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 139-140
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三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面形状転写プロセスの構築-減圧電析法の件等とミラーへの応用
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 181-182
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白沢佑樹,佐野泰久,村田順二,山内和人
ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 175-176
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三村秀和
ミラー光学素子による硬X線ナノ集光システムの開発
日本放射光学会若手研究科 X線ナノ集光技術研究会
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会田浩平, 佐野泰久, 山村和也,三村秀和,松山智至,山内和人
PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討
精密工学会 2009年度関西地方学術講演会 講演論文集 31-32
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白沢佑樹,佐野泰久,岡本武志,山内和人
SiC加工表面のショットキーバリアダイオードを用いた電気特性評価
精密工学会 2009年度関西地方学術講演会 講演論文集 67-68
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会田浩平, 佐野泰久, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
ワイヤー電極を用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Mchining)によるSIC基板の切断加工
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 161-162
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定国 峻, 村田順二, 八木圭太, 佐野泰久, 有馬健太, 岡本武志, 三村秀和, 山内和人
光電気化学プロセス及び固体酸触媒を用いたGaN基板平坦化技術の開発
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 173-174
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白沢佑樹, 佐野泰久, 村田順二, 山内和人
ショットキーバリアダイオードの特性評価によるGaN基板表面の評価
2009年度精密工学会秋季大会 講演会講演論文集 175-176
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佐野泰久,岡本武志,八木圭太,橘 一真,村田順二,定國 峻,有馬健太,山内和人
触媒基準エッチング法によるSiC基板表面の粗さ向上
第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 382
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山内和人,佐野泰久,村田順二,定国 峻
GaN結晶表面加工技術の新展開
第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 39 (Invited)
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藤井正輝,松山智至,脇岡敏之,三村秀和,佐野泰久,山内和人
4枚の非球面ミラーを用いた硬X線結像光学系の開発
第70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 8p-ZF-5
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堤良輔、高橋幸生、西野吉則、三村秀和、久保英人、石川哲也、山内和人
KBミラー集光放射光X線を用いた高分解能回折顕微法の実現可能性の検討
精密工学会関西支部 2009年度関西地方定期学術講演会
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高橋幸生
集光X線を利用した高分解能回折顕微法の開発
日本放射光学会第一回若手研究会「X線ナノ集光技術研究会」 11
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堤良輔、高橋幸生、是津信行、久保英人、山内和人、西野吉則、石川哲也、松原英一郎
高分解能コヒーレントX線回折顕微法の開発と金ナノケージの電子密度分布観察
日本金属学会秋期大会 532
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脇岡敏之,松山智至,藤井正輝,三村秀和,佐野泰久,山内和人
高密度X線ナノビーム形成のための並列型Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発
2009年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集 151-152
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松山智至
X線顕微鏡を用いた生体試料観察の展望
イメージング若手の会「光塾」抄録集 12
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松山智至
ミラー集光光学系を用いた走査型X線顕微鏡の開発
日本放射光学会第一回若手研究会「X線ナノ集光技術研究会」 13-14
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松山智至
走査型X線顕微鏡を用いた細胞イメージング
高度好熱菌丸ごと一匹プロジェクト第8回連帯研究会要旨集 11
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藤原宏樹
点接触EHLの転がり粘性抵抗
トライボロジー会議予稿集 東京 2009-5,pp. 119-120
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橘一真,佐野泰久,岡本武志,白沢佑樹,原英之,有馬健太,服部梓,八木圭太,村田順二,定国峻,山内和人
触媒基準エッチング法を用いた4H-SiC(000-1) C面の平坦化加工
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第18回講演会, 41-42 (2009)
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岡本武志,佐野泰久,橘一真,白沢佑樹,原英之,有馬健太,服部梓,八木圭太,村田順二,定国峻,山内和人
触媒基準エッチング法を用いた4H-SiC基板の表面粗さ除去
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第18回講演会, 45-46 (2009)
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定国峻,村田順二,八木圭太,佐野泰久,岡本武志,有馬健太,服部梓,山内和人
加工変質層を含むGaN基板の高能率平坦化加工
SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第18回講演会, 132-133 (2009)