Domestic Conference
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森 勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 遠藤勝義, 有馬健太, 稲垣耕司
EEM(Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の修正
精密工学会2003年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 29-30 (2003).
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柴原正文, 真鍋元保, 松井 博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山 剛, 遠藤勝義, 森 勇蔵
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第2報―
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 330-330 (2003).
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森 勇藏, 山内和人, 三村秀和, 久保田章亀, 稲垣耕司, 有馬健太, 遠藤勝義
EEM(Elastic Emission Machining)による表面広空間波長帯域の形状/粗さ修正
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 334-334 (2003).
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森 勇藏, 佐野泰久, 山村和也
数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの超薄膜化
第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 766-766 (2003).
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柴原正文, 真鍋元保, 松井 博, 山村和也, 佐野泰久, 杉山 剛, 遠藤勝義, 森 勇蔵
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工―第3 報―
2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1101-1102 (2004).
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松山智至, 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 湯本博勝, 遠藤勝義, 玉作賢治, 矢橋牧名, 西野吉則, 石川哲也, 森 勇藏
走査型Ｘ線顕微鏡のための楕円体ミラーを用いた二次元集光ユニットの開発
第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 747-747 (2004)
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掛谷悟史，稲垣耕司，山村和也，佐野泰久，広瀬喜久治，遠藤勝義
第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索
日本物理学会講演概要集，59-1，899-899, (2004).
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湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森 勇藏
硬X線ナノ集光のための高精度楕円体ミラーの作製と集光特性の評価
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 602 (2004).
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松山智至，山内和人，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，森 勇藏
ミラー集光系を用いたX線顕微鏡(ナノスコピー)の開発
第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 605 (2004).
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湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森 勇藏
高精度Ｘ線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 95-96 (2004).
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一井愛雄，森 勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人，八木圭太，半田宗一郎
超純水のみによる電気化学的加工法の研究―水分子を解離する機能を有する触媒電極の開発―
精密工学会2004年度関西地方定期学術講演会講演論文集, 17-18 (2004).
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湯本博勝，山内和人，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，石川哲也，森 勇藏
干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測 ―高精度スティッチング法の開発―
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 185-186 (2004).
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加藤 潤, 久保田章亀, 有馬健太, 山村和也, 山内和人, 遠藤勝義, 森 勇藏
STM によるSi(011),(111)ウエハ超精密加工表面の原子構造観察
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 617-618 (2004).
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久保田章亀, 三村秀和, 稲垣耕司, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人, 森 勇藏
EEM (Elastic Emission Machining)によるSiC 表面の平坦化
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1265-1266 (2005).
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柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森 勇藏, 佐野泰久, 杉山 剛
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工（第5報）
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1267-1268 (2005).
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三村秀和, 松山智至, 湯本博勝, 原 英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森 勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
超高精度X線集光ミラーの作製と集光特性の評価
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1271-1272 (2005).
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松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森 勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線CT顕微鏡の開発
第18回日本放射光学会 シンポジウム論文集 106 (2005).
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三村秀和，松山智至，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森 勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
高精度非球面全反射ミラーによる硬X線の回折限界集光
第18回日本放射光学会 シンポジウム論文集 143 (2005).
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湯本博勝，三村秀和，松山智至，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森 勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
干渉計を用いた高精度表面形状計測法の開発と硬X線集光ミラーへの適応
第18回日本放射光学会 シンポジウム論文集 209 (2005).
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原 英之、佐野泰久、三村秀和、山内和人
触媒を援用した化学ポリッシング法によるSiCの加工
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 337-338, (2005).
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湯本博勝、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森 勇藏、石川哲也、山内和人
硬X線ナノ集光ミラーの形状計測‐高精度スティッチング法の開発‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 453-454, (2005).
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山本雄介、柴原正文、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森 勇藏
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第6報)‐パイプ電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 525-526, (2005).
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柴原正文、山本雄介、滝 賢介、山村和也、佐野泰久、田中良明、結城広昭、村上資郎、遠藤勝義、森 勇藏
プラズマCVMによる超高周波水晶振動子の加工(第7報)‐PCVM加工面に作製した水晶振動子のデバイス特性評価‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 527-528, (2005).
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渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森 勇藏
プラズマCVMによるSiCの加工特性
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 529-530, (2005).
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藤原明大、上野浩司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森 勇藏
数値制御プラズマCVMによるEUVLマスク基板の平坦化(第1報)‐石英ガラスの加工特性‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532, (2005).
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加藤邦仁、伊藤公人、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森 勇藏
大気圧プラズマを用いた航空間分解能加工プロセスの開発‐シリコンの加工特性‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534, (2005).
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大道朱里、三村秀和、久保田亀章、山内和人、森 勇藏
ＥＥＭの表面創成機構に関する研究-超純水および溶存酸素がSi(100)表面に与える影響-
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 537-538, (2005).
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増谷宗彦、森田健一、森 勇藏、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のCu汚染の洗浄効果‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 547-548, (2005).
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森田健一、澤井康二、後藤英和、山内和人、遠藤勝義、森 勇藏
超純水・高速せん段流による洗浄法の開発‐Si基板表面のDOP汚染の洗浄‐
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 549-550, (2005)..
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加藤 潤、久保田章亀、有馬健太、山村和也、森 勇藏、山内和人、遠藤勝義
STMによるEEM(Elastic Emission Machining)の加工機構の解明
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 779-780, (2005).
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石田剛志、有馬健太、佐野泰久、山村和也、森 勇藏、遠藤勝義
大気圧プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)加工をいった4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 783-784, (2005).
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村田順二、一井愛雄、森勇藏、広瀬喜久治、遠藤勝義、山内和人、後藤英和
水分解触媒電極を用いた超純水電気化学加工法の研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G21, (2005).
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柴原正文、稲垣官司、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森 勇藏
大気圧プラズマ処理によるPETシートの表面改質
表面技術協会第112回講演大会要旨集, 263-264 (2005).
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一井愛雄，森 勇藏，後藤英和，広瀬喜久治，遠藤勝義，山内和人
表面修飾電極を用いた超純水中での電気化学加工法
電気化学会第72回大会講演要旨集, 384, (2005).
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原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人
触媒作用を援用した化学ポリシング法による4H-SiC(0001)の加工
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 59-60 (2005).
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渡辺容代、佐野泰久、山村和也、山内和人、石田剛志、有馬健太、遠藤勝義、森勇藏
プラズマCVMによるSiCの加工特性
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第14回講演会予稿集, 57-58, (2005).
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鐘築律夫, 中濱康治, 舩木 毅, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森 勇藏
プラズマCVMによるGaNの加工（第1報）−塩素プラズマによる加工−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 423-424, (2006).
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舩木 毅, 中濱康治, 鐘築律夫, かど野勝, 山本達志, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森 勇藏
プラズマCVMによるGaNの加工（第2報）−カソードルミネッセンスによる加工面の評価−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 425-426, (2006).
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柴原正文, 山村和也, 遠藤勝義, 森 勇藏, 山本雄介, 滝 賢介, 佐野泰久
プラズマＣＶＭによる超高周波水晶振動子の加工（第8報）−大気開放型PCVM加工装置の開発−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 427-428, (2006).
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藤原明大, 上野浩司, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森 勇藏
数値制御プラズマCVMによるEUVL用マスク基板の平坦化 −加工装置および加工条件の改良による平坦度の向上−
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 429-430, (2006).
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松山智至，三村秀和，湯本博勝，原英之，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森勇藏，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
ミラー集光光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発
第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム シンポジウム論文集, 57 (2006).
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湯本博勝、半田宗一郎、三村秀和、松山智至、山村和也、佐野泰久、遠藤勝義、森勇藏、 西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、山内和人
位相回復法にもとづく全反射ミラー表面形状計測
第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム シンポジウム論文集, 114 (2006).
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三村秀和, 湯本博勝, 松山智至, 山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森 勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也，山内和人
超高精度X線ミラーの作製とコヒーレントX線による評価,
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 233-234 (2006).
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原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 竹川雄也，山内和人,
触媒を援用した化学ポリシング法による4H-SiCの加工（第2報）-加工速度の検討-
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 557-558 (2006).
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原英之, 佐野泰久，三村秀和, 山内和人,
触媒作用を援用した基準形状転写エッチング法によるSiCの平坦化
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集，417-417 (2006). .
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片岸恵子，松山智至，三村秀和，湯本博勝，山村和也，佐野泰久，遠藤勝義，森 勇蔵，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
2006年春季 第53回応用物理学関係連合講演会予稿集No.2 P811(2006).
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石田剛志，有馬健太，原英之，山村和也，山内和人，遠藤勝義
新規な研磨加工を行った4H-SiC(0001)表面の原子構造解析
2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 1115-1116 (2006).
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一井愛雄、後藤英和
低環境負荷型電気化学加工法の開発―単結晶シリコン(001)表面の形状パターニング―
電気化学会第73回大会 講演要旨集P.311(2006).
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増田隆哉、佐野泰久、三村秀和、山内和人
数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化によるSOI膜厚の均一化
2006年度精密工学会関西支部 講演論文集、83-84(2006)
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三村秀和
KBミラー光学系による硬Ｘ線の回折限界ナノ集光
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 2006年応用物理学会論文賞（奨励賞）受賞講演
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原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
Mo触媒を利用した触媒基準エッチング法によるSiCの平坦化
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集，373-373 (2006).
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有馬健太 ，原 英之, 佐野泰久, 三村秀和, 石田剛志，八木圭太 ，久保田章亀，山内和人
湿式環境下で作製した4H-SiC(0001)1×1表面のSTMによる原子像観察
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集，368-368 (2006).
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片岸恵子，松山智至，志村まり，三村秀和，湯本博勝，半田宗一郎，芝谷昭彦，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治，矢橋牧名，石川哲也，山内和人
走査型蛍光X線顕微鏡を用いた細胞内元素分布の測定
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会予稿集, 1183-1183 (2006).
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三村秀和, 湯本博勝, 半田宗一郎，松山智至，佐野泰久，西野吉則，玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
At-wavelength形状計測法による硬X線ナノ集光鏡の開発
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 207-208 (2006).
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原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
触媒基準エッチング法による4H-SiCの加工（第3報）―モリブデン触媒の検討―
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 531-532 (2006).
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村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
触媒基準エッチング法によるGaNの加工
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 533-534 (2006).
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岡本亮太・有馬健太・佐野泰久・原 英之・石田剛志・八木圭太・山内和人・遠藤勝義
湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 539-540 (2006).
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久保田章亀，八木圭太，安井平司，山内和人
触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究 ―焼結SiC表面研磨の試み―
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 253-254 (2006).
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原 英之, 佐野泰久, 有馬健太，八木圭太，村田順二，久保田章亀，三村秀和, 山内和人
触媒基準エッチング法によるSiC平坦化における代替触媒の評価
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 110-111 (2006).
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村田順二, 久保田章亀，八木圭太，佐野泰久, 原 英之, 有馬健太，三村秀和, 山内和人
触媒基準エッチング法によるGaNの加工
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 112-113 (2006).
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岡本亮太，有馬健太，佐野泰久，原 英之，石田剛志，八木圭太，久保田章亀，三村秀和，山内和人
湿式プロセスにより得られた超平坦4H-SiC(0001)実用表面の原子構造解析
応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第15回講演会予稿集, 104-105 (2006).
