Domestic Conference

  • 三村秀和、森田晋也、木村隆志、山川大輔、林 偉民、上原嘉宏、 湯本博勝、松山智至、西野吉則、玉作賢治、大橋治彦、矢橋牧名、石川哲也、大森 整、山内和人
    KBミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発 -400mmX線集光ミラーの作製と評価-
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,3A001p97,(2008)

  • 半田宗一郎,玉作賢治,三村秀和,湯本博勝,木村隆志,松山智至,佐野泰久,西野吉則,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    硬X線反射用多層膜ミラーの開発
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、13P024p66(2008)

  • 木村隆志、大橋治彦、三村秀和、山川大輔、津村尚史、岡田浩巳、増永竜彦、仙波泰徳、後藤俊治、石川哲也、山内和人
    大型X線ミラーの高精度形状計測法の開発
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、66(2008)

  • 古川隼人,高橋幸生, 久保英人, 西野吉則, 山内和人,石川哲也,松原英一郎
    Cu細線のコヒーレントX線回折測定
    第21回日本放射光学会年会, 立命館大学, 2008, 1

  • 久保英人,高橋幸生, 古川隼人, 西野吉則, 山内和人,石川哲也,松原英一郎
    元素識別コヒーレントX線回折顕微法の開発
    第21回日本放射光学会年会, 立命館大学, 2008, 1

  • 藤井正輝,松山智至, 志村まり,三村秀和,前島一博,片岸恵子, 湯本博勝, 半田宗一郎, 佐野泰久, 西野吉則,玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
    Kirkpatrick-Baez ミラー光学系を搭載した走査型蛍光X 線顕微鏡による細胞内元素分布の観察
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 13P103p86, (2008).

  • 山川大輔,三村秀和,木村隆志,松山智至,湯本博勝,佐野泰久,玉作賢治,西野吉則,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    KBミラー光学系におけるX線集光状態維持システム
    第21回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム, 132, (2008)

  • 松山智至
    硬X線ミラーの現状とその応用
    ERLサイエンス研究会1, (2008). (invited)

  • 高橋幸生
    コヒーレントX線回折顕微法の材料科学応用に関する取組み
    PF研究会「X線位相利用計測の将来展望」,高エネルギー加速器研究機構,2008,1(依頼講演)

  • 三村秀和
    ラージスケールナノ精度形状転写法の開発
    独立行政法人中小企業基盤整備機構:第10回産学技術交流マッチング定例会(招待講演)

  • 木村隆志、大橋治彦、三村秀和、山川大輔、津村尚史、岡田浩巳、増永竜彦、仙波泰徳、後藤俊治、石川哲也、大森整、山内和人
    大型X線ミラー用スティッチング干渉計の開発
    2008年度精密工学会春季大会

  • 原 英之, 森川良忠,佐野泰久, 有馬健太,服部 梓,村田順二,岡本武志,三村秀和, 山内和人
    第一原理分子動力学計算を用いた4H-SiC 表面エッチング機構の考察
    2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,436 (2008).

  • 加藤武寛,佐野泰久,堀勉,原 英之,山村和也,三村秀和,勝山義昭,山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の薄化
    2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会予稿集,435(2008).

  • 石倉寛之,三村秀和,芝谷昭彦,佐野泰久,山内和人
    反射型工学素子作製のためのナノ精度表面転写法の開発
    2008年春季 第55回応用物理学関連連合講演会 , 29a-ZL-24(2008).

  • 定国 峻、村田順二、佐野泰久、有馬健太、原 英之、岡本武志、三村秀和、山内和人
    光照射援用化学研磨法によるGaN基板の平坦化加工
    第55回応用物理学会関係連合講演会,377(2008)

  • 三村秀和(招待講演)
    放射光およびX線自由電子レーザー施設における集光光学系の開発
    理研シンポジウム:第壱回「先進ものづくり技術によるアナライザーキーコンポーネント開発基盤の構築状況」

  • 久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 松原英一郎, 石川哲也, 西野吉則
    元素識別可能なコヒーレントX線回折顕微法の開発
    精密工学会関西支部 2008年度関西地方定期学術講演会, 堺市産業振興センター, 2008, 7

  • 山川大輔、木村隆志、三村秀和、松山智至、山内和人、森田晋也、林偉民、上原嘉宏、大森整、西野吉則、玉作賢治、矢橋牧名、石川哲也、湯本博勝、大橋治彦
    K-BミラーによるX線自由電子レーザー集光システムの開発−大型X線集光ミラーの作製−
    精密工学会関西支部 2008年度関西地方定期学術講演会, 堺市産業振興センター, 2008, 7

  • 定国峻,村田順二,佐野泰久,有馬健太,服部梓,原英之,岡本武志,三村秀和,山内和人
    固体触媒を用いた光援用化学研磨法によるGaN基板の平坦化加工
    精密工学会2008年度関西地方定期学術講演会講演論文集,29 (2008)

  • 三村秀和, 森田晋也, 木村隆志, 山川大輔, 林偉民, 上原嘉宏, 松山智至, 湯本博勝, 大橋治彦, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 大森整, 山内和人
    K.Bミラー光学系によるXFELナノ集光システムの開発-大型X線集光ミラーの集光特性の評価-
    2008年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集 p425-426

  • 森田晋也,三村秀和, 林偉民, 上原嘉宏, 山形豊, 木村隆志, 山川大輔, 松山智至, 湯本博勝, 大橋治彦, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人, 大森整
    XFEL大型集光ミラーの高能率・高精度加工法の開発
    2008年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集 p427-428

  • 金岡政彦、瀧野日出雄、野村和司、三村秀和、山内和人、森勇藏
    EEM(Elastic emissinon machining)のEUV光学素子作製への適用-粉末粒子の挙動解析による加工速度の考察-
    2008年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集 p823-824

  • 村田順二,定国峻,八木圭太,佐野泰久,原英之,有馬健太,岡本武志,三村秀和,山内和人
    光照射援用化学研磨法による自立GaN基板 (0001)の平坦化とその評価
    2008年度秋季 第69回応用物理学関係連合講演会

  • 加藤武寛, 佐野泰久, 会田浩平, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討
    2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会, 351(2008)

  • 古川隼人, 高橋幸生, 久保英人, 西野吉則, 山内和人, 石川哲也, 松原英一郎
    コヒーレントX線回折顕微法によるCu細線のボイド生成過程のその場観察
    日本金属学会秋期大会, 熊本大学, 2008, 9

  • 久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 松原英一郎, 石川哲也, 西野吉則
    コヒーレントX線回折顕微法による金属材料の電子密度分布定量評価法の開発
    日本金属学会秋期大会, 熊本大学, 2008, 9

  • 原 英之, 森川良忠,佐野泰久, 山内和人(招待講演)
    第一原理分子動力学シミュレーションを用いた4H-SiC表面エッチング機構の考察
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第3回個別討論会(2008)

  • 原 英之, 森川良忠, 佐野泰久, 山内和人
    4H-SiC(0001)1×1の表面エネルギーの表面終端依存性
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会 予稿集,130 (2008)

  • 村田順二,定国 峻,八木圭太,佐野泰久,原 英之,有馬健太,岡本武志,三村秀和,山内和人
    光電気化学的手法を利用したGaN平坦化表面作製法とその評価
    第17回SiCおよび関連ワイドギャップ半導体研究会 (2008)

  • 久保田章亀,宮本士郎,村田順二,八木圭太,原英之,安井平司,佐野泰久,山内和人
    鉄微粒子を利用した単結晶SiCおよびGaN基板の平坦化加工
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会 予稿集,67 (2008)

  • 会田浩平, 佐野泰久, 加藤武寛, 山村和也, 三村秀和, 松山智至, 山内和人
    PCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)を用いたSiC基板の切断加工の検討
    応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会予稿集, 66 (2008)

  • 白沢佑樹,佐野泰久,岡本武志,山内和人
    SBDのI-V測定によるSiC加工表面の結晶性評価
    SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会 第17回講演会 予稿集,138 (2008)

  • 三村秀和、石倉寛之、松山智至、佐野泰久、山内和人
    多孔質裏打ち電鋳法によるナノ精度表面転写法の開発
    第10回関西表面技術フォーラム 予稿集 75